激光-微笔微喷写集成制造mems微结构关键技术研究.pdf

摘 要 近年来，伴随MEMS微制造领域向柔性化、定制化、集成化、智能化发展的潮 流，基于“自由堆积/去除”原理的直写技术迅速崛起，成为备受关注和研究的新型 微制造技术。面对机遇，开发具有自主知识产权的直写微制造技术与设备对提升我 国在MEMS制造领域中的技术水平和核心竞争力具有十分重要的意义。 本文在实验室自主研发的微笔/微喷直写沉积和激光微熔覆电子浆料工艺基础 上，提出基于激光-微笔/微喷直写技术集成制造MEMS微结构的工艺路线，对相关的 多功能直写集成制造工艺设备、基础材料体系和关键工艺过程进行了较系统的探索 和讨论。采用微笔、微喷直写沉积和激光微熔覆工艺中的一种或几种工艺组合，分 别在石英玻璃和Al O 陶瓷基片上制作了MEMS器件单元微结构如信号电路、基础薄 2 3 膜、叉指悬臂、三维薄壁墙及基础微型桥等，实证了激光-微笔/微喷直写集成制造 MEMS微结构的现实可行性。主要研究成果总结如下： 基于快速原型工艺集成和多功能快速原型制造系统的基本原理，设计和开发了 一台多功能直写微制造系统，该系统集成了激光、微笔和微喷三种直写加工工具， 具有柔性化、集成化、多功能、可扩展和开放性的特点。详细介绍了基于该加工系 统的专