移动式非对称惯压电驱动机构的研究.pdfVIP

本文由以下项目资助 国家自然科学基金 “非对称惯性压电驱动器工作机理及关键技术研究” l 175478) (项目编号：5 国家自然科学基金 ‘‘压电流体惯性驱动器的基础理论及关键技术研究” (项目编号 万方数据 移动式非对称惯性压电驱动机构的研究 摘要 惯性压电驱动机构是一种利用压电元件产生的惯性冲力来实现驱动或控制的新 型压电装置。惯性压电驱动器具有位移分辨率高、频率响应快、无电磁干扰以及结构 紧凑等特点，被广泛应用在医用细胞操作装置、扫描隧道显微镜、光纤对接、高精度 三维工作台等领域。目前惯性压电驱动机构的驱动信号常采用非对称锯齿波形，控制 电路会比较复杂。本文提出的移动