相邻电容传感器计及ect技术研究.pdf

摘要 虽然电容传感器是很早的技术之一，但是由于用于测量电容的外部电路以 及电容传感器在工艺制作方面的不足，直到近年来关于电容传感器技术的应用 才得到了突飞猛进的发展。从电脑、手机等电器设备的屏幕触摸功能的广泛应 用，到电容断层层析成像ECT(ElectricalCapacitanceTomography,)技术的出现， 都证明了电容传感器技术尤其是相邻电容传感器技术在精密测试领域的有着广 阔的应用前景。相邻电容传感器的设计成为电容传感器技术研究的热门课题。 因此，研究相邻电容传感器的结构设计并结合具体系统工程中的应用给出更好 的参数优化规则，具有重要的理论意义和实际应用价值。 本文主要围绕相邻电容传感器在设计中出现的参数平衡问题，针对不同系 统工程应用中的特殊要求，以软件仿真与实际测试数据为依据，对其工作原理 及若干相邻电容传感器设计中的关键参数调试、参数确定、应用系统和新型工 业应用ECT技术等进行了系统的深入研究。本文的主要工作及贡献如下： 1． 给出了电容边缘效应在特定电容传感器模型下的数学描述，证明了影响 边缘电容的传感器设计参数。此外，针对目前应用较为广泛的多种传感 器技术，深入探讨了传感器技术发展的背景、分类；研究了经典传感器