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* * 光电子技术（7） （二）、单异质结半导体激光器 由不同半导体材料组成的p-n结称为异质结。异质结又分为同 型异质结（p+-p,n+-n）和异型异质结(p-n)。 1、异质p-n结的形成 异质p-n结的形成过程与同质p-n结的形成类似，仍然涉及电子、 空穴的扩散和内建电场的反作用，最后两种作用达到平衡，形成 稳定的电子、空穴分布。如图。 2、正偏置异质p+-n结的粒子反转与增益 正向偏置下异质p+-n结的能带图，此时形成一个等效的四能级结 构，实现粒子数反转和增益。 光电子技术（7） 3、单异质p-n结激光器 实际的单异质p-n结激光器也做成三层结构，即p+-p(n)-n或 p-p(n)-n+型。要求中间层的折射率最大，形成波导结构，使 激光发射约束在中间层中，提高激光转换效率。中间层厚度较 薄，主要用于增加耗尽层的体积，提高激光发射效率。 常见的单异质p-n结激光器为GaAs-GaAs -AlxGa1-xAs或AlyGa1-yAs -AlyGa1-yAs -AlxGa1-xAs结构，掺杂形成p+-p-n(p-p(n)-n+)型单异质结激光器，其能带结构类似p+-n型的能带图，除了耗尽层厚度大一点外。谐振腔两端面与结平面垂直，激光在中间层中振荡、发射。 （三）、双异质p-n结激光器 单异质结激光器比同质结激光器具有更高的效率，低的阈值电流。 光电子技术（7） 1、双异质p-n结的形成 双异质p-n结的形成涉及两个异质p-n结的形成，形成的物理过 程仍然涉及电子、空穴的扩散与内建电场的平衡，平衡态异质 p-n结的能带结构如图。 双异质p-n结指由两个异质p-n结串接形成的异质p-n结。 2，正向偏置的双异质p-n结 当给双异质p-n结施加正向偏置电压时，能带将逐渐恢复到接触 前的位置，但费米能级是非平衡的，在结区剧烈变化，如图。 3、双异质p-n结激光器 双异质p-n结激光器可采用AlyGa1-yAs-GaAs-AlxGa1-xAs结构，掺杂 光电子技术（7） 形成p+-p-n或p-n-n+结构，由于双异质结构的高效率约束，使 双异质结激光器的效率大为提高，阈值电流大为降低，可在室 温下连续工作。目前商品化的连续工作半导体激光器几乎均为 双异质结型。 §2.10 掺钛蓝宝石激光器 一、工作原理 工作物质：Al2O3+Ti2O3(~5%) 激活介质：Ti3+ 能级结构：等效四能级。Ti为22号元素， Ti3+的电子组态为3s23p63d1，基态为d轨道，激发态4s，如图。 泵浦方式：光激发，通常用激光激发。 光电子技术（7） 输出波长：700-1100nm连续可调。 特点：特宽增益带宽，宽范围调谐，很多纵模起振，实现锁模 运转可获得数飞秒（10-15S）脉宽激光脉冲。 二、自锁模特性 掺钛蓝宝石具有很强的三阶非线性，利用这一特性可以实现激 光的相位调节-自相位调节，锁定不同纵模间的位相，实现锁模 运转。 三、谐振腔结构 由于自相位调节是一种非线性效应，需要强的光功率密度，所 以钛宝石激光谐振强设计中要考虑提高宝石棒中的光功率密度， 光电子技术（7） 需要加一对聚焦亚腔，使激光聚焦通过钛宝石棒，获得强的光 功率密度，进而强的自相位调节。如图所示为X型腔 四、锁模运转 利用蓝宝石的自相位调节，可以实现锁模工作。但由于宝石棒、 光学薄膜的正色散，会展寛锁模产生的激光脉冲，使得输出的 激光脉冲比锁模产生的脉冲宽，因此在腔內加一对棱镜，产生 负的群速度色散，补偿宝石棒和光学薄膜等产生的正群速度色散， 从而压缩激光脉冲。 §2.11、激光调Q技术 Q指谐振腔的品质因素，它定义为腔内存储的能量与每秒中损耗 的能量之比，即 光电子技术（7） 式中W为腔内总能量，?为每秒钟损耗的能量，?0为中心频率。 设激光在腔内走一个单程的能量损耗率（包括输出）为?，则光 在一个单程中对应的能量损耗为?W。设腔长为L，平均折射率为 n，光速为c，则光在腔内走单程的时间为nL/c，所以每秒钟损耗 的能量为?W/(nL/c)= ?Wc/nL。带入Q表达式中得： 上式表明Q值反比于损耗率。所以调Q就是调节谐振腔的损耗率。 激光振荡需要足够的增益，当损耗过大时，增益不够，激光停止 振荡。所以，调Q能控制激光的振荡。 光电子技术（7） 调Q的目的：获取高峰功率激光脉冲。将连续工作输出能量压缩到 短时间内发射。 常见的调Q技术包括机械调Q、电光调Q、声光调Q和染料调Q四种 技术。其中前三种技术属主动调Q技术，而染料调Q属被动调Q。 一、机械调Q 机械调Q激光器结构如图所示，它是将全反射镜替换为一个转动 的棱镜。 （一）、绕Z轴旋转 设直角棱镜的角平分线与激光束的交角为?，则损耗率?~?曲线随 棱镜的转动方式而变化。 * * *