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EPS制程工程課/Aweihe/2008.02.18 Ver:1.0 目錄 DOE簡介 術語 單因子實驗 部分因子實驗 全因子實驗 響應曲面 DOE模擬練習 DOE簡介 DOE術語 因子 水平 分辨率 交互作用 中心點 區集 重復 反復 全因子實驗 交互作用 交互作用影響 3因子實驗設計交互作用 交互作用 交互作用影響 因子篩選 3～15 Y=F（x) 篩選因子 別名結構 C=AB為別名產生器 B=AC,A=BC,ABC=I A*I=A, A*A=I 因子互為別名的相量相等 效應=別名相加 B A C 影響柏拉圖 影響柏拉圖 縮減模型 因子影響 注：部分因子研究如果是做過濾因子時一定要看別名表，如果當作全因子實驗則不需要看別名表！ 別名變化 影響效果 交互作用 立方圖 P值大于α,不顯著，P值小于α值,則影響顯著 函式結構 函式結論 Y=64.25+11.5Temp-2.5Time+0.75C+0.75Temp*Time+5Temp*C Y=64.25+11.5+2.5+0.75-0.75+5 =81.5 溫度180度，時間8分鐘，Chip 為B模子 假設要求Y越大越好 分析路徑全因子DOE 創建因子設計 分析因子設計 1.確定水平數 2.確定因子數 3.中心點？反復？區集？ 4.隨機運行或標準運行？ 1.你是否建立了原始矩陣？ 。否：定義因子設計，最后開始分析 。是：開始分析 ` 。確認所有項目包含在分析中 2.`創建圖表：正態和柏拉圖 。是否有其它因素或交互作用顯著？ 。否：從新評估各因素的水平設定 。是：使用因子圖看顯著因素 3.是否存在顯著的交互作用？ 。否：進入評估顯著的主要因素 。運行交互作用圖，評價因素間的關系，決定什么是與響應有關的最佳設置（最佳運行條件） 4.是否存在顯著的主因素？ 。否：進入縮減模型 。是：運行主因圖.評估線的斜度.確定每個與響應有關因素的最佳水平設置（運行最佳條件) 分析路徑全因子DOE 分析因子設計 5.縮減模型—分析因子設計 。從員模型中剔除非顯著項目 。關閉圖表(正態和柏拉圖) ` 。存儲residuals and fits 6.`建立Y=f(x) 模型 。在session window，用系數值創建模型 7.看因子強度，看slop就行？ 。運行平衡方差。 。將響應和因素還有交互作用加入模型 。檢查session window中ANOVA表 8.評估殘差 。運行殘差圖 。殘差是否呈正態分布？ 。殘差是否穩定？ 。數據是否隨機分布？ 。否：評價模型可能忽略的因素 。是：模型可以很好的表示Y=f(x) 分析路徑全因子DOE 建立進一步的計劃 9.期望的影響值/范圍是否建立？ 。是：按DOE中設置的水平設置所研究的因素，設置和運行過程. 使用控制圖表的方法評估響應。 ` 。否：確定是否需要做另一個DOE 。多少個因素？ 。相同因素，新的水平？ 。原有因素賀附加因素？ 。所有新因素？全部或部分？分區？重復？反復？ 快速參考 確定樣本量 形成方案 建立/進行實驗 進行分析 觀察關鍵圖表 觀察關鍵數據 縮減模型 觀察關鍵圖表 觀察關鍵數據 確定顯著性 確認 開發實際方案 StatPower and Sample Size2-Level Factorial Design StatDOECreate Factorial Design StatDOEAnalyze Factorial Design 效應圖和柏拉圖 ANOVA表和P值 主效應圖、交互作用、立方圖及殘差圖 StatANOVABalanced ANOVA 運用大腦 實驗的貫續特征 差距 DOE 4 DOE 3 DOE 2 DOE 1 目前的認知 （了解） “獲取知識通常要付出極大的興趣。” 實驗不是只有的一次解決方案。你