0Cr18Ni9不锈钢箔的飞秒激光烧蚀.pdfVIP

第 2O卷 第 1期 光学 精密工程 Vo1．2O No．1 2012年 1月 OpticsandPrecisionEngineering Jan．2012 文章编号 1004—924X(2012)01—0045—07 0Crl8Ni9不锈钢箔的飞秒激光烧蚀 徐 斌 ，伍晓宇¨，罗 烽 ，杜晨林。，孙秀泉。 (1．深圳大学机电与控制工程学院深圳市模具先进制造技术重点实验室，广东深圳 518060； 2．深圳大学 电子科学与技术学院深圳市激光工程重点实验室，广东深圳518060) 摘要 ：利用飞秒激光对厚度为 20 m 的0Crl8Ni9不锈钢箔进行了表面烧蚀、微细切割等试验 ，并研究了不锈钢箔的烧蚀 特性 。首先，根据烧蚀区域的直径和脉冲能量 的关系，得到了0CrlaNi9不锈钢箔的单脉冲烧蚀阈值 ，并估算 了飞秒激光 的束腰半径。然后，对飞秒激光切割不锈钢箔的边缘进行金相观察并测试了切割试件的电阻率，以确定飞秒激光切割对 不锈钢箔的热影响。最后 ，对切割试件进行 X射线衍射分析