高重复频率飞秒激光在熔融石英中制备光波导实验研究.pdfVIP

中文摘要 光波导作为集成光学和光电子学的基础，具有广泛的应用。飞秒激光制备光 波导技术具有制作工艺简单、成本低、适用介质广、可实现三维体加工等优势， 已成为最重要的波导制备技术之一。传统的飞秒激光微加工技术大多基于低重复 频率的钛宝石放大器，钛宝石放大器结构复杂、成本昂贵、体积庞大，其较低的 加工效率限制了飞秒激光制备法在实际中的大规模应用。新一代的光子晶体光纤 激光器具有较高的重复频率，可以有效的解决这一问题。然而较高的重复频率会 引入严重的热效应，如何有效利用热效应对高重复频率飞秒激光微加工技术至关 重要。另外，飞秒激光制备的光波导还存在横端面对称性较差、光斑模式不可控、 传输损耗大、模场面积较小等问题。 本论文围绕利用热效应、改善波导对称性、实现传输模式可控及增大模场面 积，基于高重复频率光子晶体光纤飞秒激光光源，在熔融石英中进行了制备光波 导的实验研究。主要研究内容如下： 一、利用重复频率为52 MHz 的飞秒激光在熔融石英内部进行波导制备实验。 研究了水滴结构、亮线结构两种典型损伤结构的制备参数及形成原因，获得制备 亮线波导的系统参数窗口；研究了数值孔径、聚焦深度、写入模式对波导结构的 影响；制备了具有偏振敏感性的单细线波导，对653 nm、980 nm 和1040 nm 激 -5 光都能实现较好的基模传输，飞秒激光诱导折射率改变量约为5.4×10 ，传输损 耗约为4.6 dB/cm ；制备了双细线波导，对653 nm 激光输出强弱两个光斑；最后 从气泡形核角度分析了周期性水滴结构的形成机理。 二、利用重复频率为650 kHz-2 MHz 的飞秒激光在熔融石英内部进行波导制 备实验。分析了亮线、暗线及珍珠链三种典型损伤结构的制备参数；研究了Ⅱ类 损伤阈值随脉冲重复频率、扫描速度的变化规律，阐明不同参数下热扩散效应及 热累积效应对烧蚀过程的主导作用；在最优化条件下，制备了双线光波导，该波 导结构对1040 nm 激光可实现单偏振圆形基模传输；定性模拟了双线波导激光刻 写区周围折射率分布，验证双线波导的偏振敏感性；设计并制备了六角椭圆晶胞 微结构波导，该微结构波导对 1040 nm 激光可以输出近高斯强度分布的基模，模 2 场面积达到247.48 μm ；该波导具有单偏振传输特性，消光比达9.05，波导数值 孔径约0.017 ；定性模拟验证了微结构波导的单偏振传输特性。 关键词：高重复频率 飞秒激光 光波导 微加工 热积累效应 ABSTRACT As the basic component of integrated optics and optoelectronics, optical waveguide has been widely used. Femtosecond laser writing technique has been one of the most important waveguide fabricating techniques for its unique advantages, such as simpler process, lower cost, applicable to different mediums and able to micromachine geometrically complex structures in three dimensions. As the laser source of traditional femtosecond laser micromachining, low repetition rate Ti: Sapphire laser limited the machining efficiency, and limited this technique in actual application. The