激光扫描声学显微镜层析成像算法地研究.pdfVIP

摘 要 摘 要 在现代军事电子工业中各种新型材料得到了广泛应用。由于这些新型材料在 加工和应用过程中的复杂性导致它们出现了各种类型的缺陷。这些缺陷严重影响 了材料的性能和安全使用。为了更加准确地判断出样品中的缺陷情况，在实现对 它们的二维缺陷检测情况的前提下，获得缺陷的清晰三维图像显得尤为重要。 激光扫描声学显微镜 (Scanning Laser Acoustic Microscope， 简称 SLAM) 是一种新型高分辨率的无损检测仪器。它是声显微技术的一种形式，对于研究新 材料和新器件的内部结构问题特别有效。利用 SLAM 系统对材料内部结构成像，可 以获得样品内部的声学幅度图像和相位图像。因此我们可以通过多次投影的方式 获得有效的重建图像数据，结合相应的层析算法及校正算法，获得被测样品清晰 的三维层析图像，为准确判断样品的缺陷情况提供可靠的依据。 第一章，对本课题的研究背景、应用情况和国内外发展情况进行了介绍。第二 章，对本课题研究的 SLAM 系统进行了阐述，在 SLAM 系统的基础上，介绍了实现 STAM 系统的方法和途径。第三章，详细介绍了目前在超声波探测技术中用到的各 种层析成像算法。第四章，通过对 STAM 系统的分析，建立了非线性衍射层析成像 的理论模型。并引入了截断完全最小二乘法正则方法，为了实现将算法引入 STAM 系统中，对算法做了适当的近似。第五章，将非线性衍射理论进行程序代码化， 并利用已建立的多频率投影图像库。得到了样品清晰的层析图像，最后对所使用 的算法与其他的层析算法做了简单的比较。第六章，对获得投影数据过程中产生 的相位误差和投影误差做了校正。第七章，对整个阶段的理论研究、实验与仿真 结果进行了总结。 应指出的是：STAM 系统虽然在国外已经实现将近十年，但在国内尚未见相关 报道，论文中所讨论的应用于 STAM 系统中非线性衍射层析成像算法是目前国内外 文献未见报道的内容。属于本论文的主要创新点之一；其次第四章中涉及的正则 化方法应用于 STAM 系统非线性衍射层析方法中是本论文的又一个创新点。非线性 衍射层析算法以及正则化方法的引入，使得 STAM 系统的软件实现方面取得实际成 果。 关键词：激光扫描声学显微镜 (SLAM),声学图像，正则化算法，层析 I ABSTRACT ABSTRACT In recent years, many new kinds of materials have been widely used in many military and electronic fields. Because of the material’s complexity in processing or in using, there are many types of defects that may affect its performance and safety seriously. In order to detect the flaw situation in the sample accurately, before detecting their two-dimensional flaws, it is very important to obtain the clear three-dimensional picture of the flaws. SLAM (Scanning Laser Acoustic Microscope) is a type of acoustic microscopy, as a new-type of high-efficient NDT( non-destructive testing) instrument, it is an useful method to study the