高性能MISiC高温气体传感器及应用的研究.pdfVIP

摘 要 金属-绝缘体-碳化硅(MISiC) 肖特基势垒二极管 SBD 高温气体传感器由于可 以工作在高温下 体积小 功耗低 响应速度快 控制电路简单等特点引起了人们极 大的研究兴趣 且在航空/航天 汽车尾气检测以及氢气泄漏检测等方面有非常广泛的 应用 是极端电子学研究的热点 因此研究MISiC SBD 高温气体传感器具有重要的 理论意义和实用价值 本文分析了MISiC SBD 气体传感器的响应机理 将SBD 热电子发射理论和氢吸 附-解吸理论相结合 通过考虑势垒高度调制效应以及理想因子随外界条件的变化 建 立了MISiC SBD 气体传感器物理模型 通过建立的物理模型 对器件结构 工艺参 数进行了优化设计 确定最佳绝缘层厚度为2-2.8 nm 为实用化提供了理论依据 在国际上首次将N O 氧化工艺用于MISiC 高温气体传感器的制备 实验结果表明 2 N O 直接氧化所制备的超薄绝缘层能够改善界面特性 有较高的界面扩散势垒和高的 2 界面强度 有效地阻止MIS 结构层间的互扩散效应 通过测量传感器特性还发现 传 感器对氢气浓度的变化非常敏感 具有较好的重复性 能够对甚至几十ppm 的氢气作 出快速响应 传感器灵敏度与绝缘层厚度有很强的依赖关系 随着绝缘层厚度的增加 传感器的灵敏度会随之增加 分析了传感器的失效机理 结论显示MISiC SBD 气体传感器失效的原因主要有 金属化系统劣化 催化金属失效以及高温下层间的互扩散效应 但主要原因是绝缘层 与金属以及绝缘层与SiC 之间的互扩散导致绝缘层的失效 从而对传感器在高温下的 失效机理有了清晰的认识 本着实用 易推广的角度 研制了基于MISiC 气体传感器的检测氢泄漏的报警电 路 并把设计好的电路图制成印刷电路板 使之能够应用于实际 通过对敏感机理和失效机理的分析 得出了一些有用的结论 提出了优化器件特 性的参数 为获得最佳器件结构提供了科学依据 关键词 碳化硅 肖特基势垒二极管 气体传感器 一氧化二氮 I Abstract Schottky diode gas sensor with Metal- Insulator-SiC(MISiC) structure can operate at high temperature. It has the advantages of small size, low cost, short response time, simple operation circuit. Hence people focus their interests on it. It is widely used in aerospace, automobile emission monitoring, hydrogen leakage detection and other high temperature applications. It’s the hotspot of extreme electronics, thus doing research on MISiC Schottky diode high temperature gas sensor is valuable both in theory and practice. Response mechanisms of MISiC SBD gas sensors are analyzed. A physical model of MISiC SBD gas sensors is established by combining SBD thermionic emission with adsorption/desorption princ iple of hydrogen and considering mo