纳米薄膜力学行为的分子动力学模拟的研究.pdf

摘要 随着纳米电子机械系统(NEMS)技术的发展．纳米薄膜被广泛用作NEMS 的机械构件和电子元件，由于小尺度效应，纳米薄膜的力学性质和宏观尺度下的 薄膜显著不同。利用经典的分子动力学方法，本文针对纳米薄膜力学的一些问题 包括表面／界面应力和弹性变形行为，进行了数值模拟研究。 分子动力学方法的一些基本原理在第二章中做了详细的介绍，在第二章中， 首先出统计物理学弓；入分子动力学。鉴于系综平均计算的露难，分子动力学_申的 轨道平均(实际中是轨道抽样)是一个很好的替代。对于所研究的非孤立系统， 环境本质上也是一个热力学系统。将环境的自由度合并成一个和几个虚拟自由 度。这样所研究的物理系统和环境加起来就构成了一个孤立系统，其动力学方程 可参照孤立系统的动力学方程得到。除了动力学方程外，原子间的相互作用也是 分子动力学方法中很重要的一部分。第二章中同时也讨论了经典势函数的构造和 选取的一些基本原则。 。 第三章对分子动力学模拟中原子应力的一些概念和方法进行了分析和讨论， 澄清了原子应力计算方法上的一些误区。从定义上看，virial格式是用来计算均 匀变形系统的应力的，而1蜥格式是用来计算局部应力的。在用来计算一个系 统的平均应力的时候，这两种格式是完全等价的。和Tsai格式相比。因为实施 起来比较方便，vh-ial分解式更多地用来计算原子应力分布。然而，根据本章第 一节关于virial分解式的推导，可以看到，virial分解式只是一个形式上的选择， 并不是根据严格的物理定理。通过详细的分析对比可以看到，使用vidal分解式 来计算原子应力的时候，只有在所使用的势函数截断半径以内，材料的变形和微 结构是均匀的，所得到的结果才准确确。在一些情况下virial分解式可能给出不 准确甚至错误的结果。比如，在计算表面附近的应力时，由virial分解式得到的 方向应力分量在表面处不为零．而且virial分解式通常也会“低估”材料的微结 构和变形的非均匀性。 第四章通过分子动力学模拟，计算了纳米单晶铜薄膜在驰豫前后能量和体应 力分量沿厚度方向的分布，并考察了Cu(001)表面驰豫对表面附近能量和体应 力分布的影响。结果表明，表面能和表面应力重要集中在表面最外原子层内，表 面驰豫将引起表面附近能量和应力的释放。表面附近能量的释放沿厚度方向呈现 出波动的特点。表面附近各层原子的能量都随着驰豫而下降，只有次外层，其能 量反而升高。除了波动的能量释放形式外，结果中还观察到非常“独特”的应力 释放形式。面内体应力分量，o。和‰，并不是发生在应力最集中的最外层，而是 发生在次外层和第三层。于是就导致一个压力层的存在。尽管总的表面应力仍然 是拉应力。表面驰豫的驱动力来自于表面最外层原子配位数降低后的电子结构调 整。但是本文的结果显示，体应力的释放并不是发生在最外层。这种“独特”的 应力释放规律可以从第一性原理的研究中获得，对于它的掌握可以增加我们对表 面驰豫和表丽应力起源的认识。 拟，详细研究了吸附诱导表面应力的起源。结果表明，在低覆盖范围内(O-0．4ML)， 吸附诱导表面应力主要源于吸附原子导致底物表面原子间的相互作用的改变；在 中覆盖直至高覆盖范围内(o．4ML)，吸附诱导表面应力主要由吸附原子问的相 互作用产生，也就是晶格失配。并进一步指出，晶格失配产生的界面应力与吸附 层数的呈一定周期的波动性。 第6章中，利用分子动力学方法对纳米单晶铜薄膜和单晶硅薄膜的弹性变形 的尺度相关性进行了模拟研究。在纳米尺度下，材料和构件弹性变形的尺度相关 性包括弹性模量和泊松比的尺度相关性，以及变形刚度的尺度相关性。将分子动 力学模拟中得到的结果和Lain等人提出的应变梯度弯曲模型的理论解进行了对 比。本章的模拟结果给出以下几点结论。在纳米尺度下，材料和构件的弹性性能 和宏观尺度有很大的不同，不光材料和构件的有效弹性模量和泊松比与尺度相 关，在非均匀变形下其无量纲化的刚度也依赖与构件的尺度。对于单晶硅纳米薄 膜和单晶铜纳米薄膜，当薄膜的厚度大于10nm的时候，弹性常数、泊松比和无 量纲化的弯曲刚度的尺度效用趋于零。说明当纳米薄膜和纳米构件的尺度大于 10纳米的时候，可以用传统的弹性理论来处理其弹性变形问题。当纳米表面的 尺度低于10rim的时候，纳米薄膜的无量纲化的弯曲刚度存在尺度相关性。分子 动力学模拟的结果和理论解之间的并不一致。单晶硅纳米薄膜的无量纲化的弯曲 刚度差为负值，并且其绝对值随薄