薄膜织构和残余应力表征及其取向铁电薄膜的性能.pdf

Classified Index: TG155 U.D.C.: 621.785 Dissertation for the Doctoral Degree in Engineering CHARACTERIZATIONS OF RESIDUAL STRESS AND TEXTURE IN THIN FILM AND PROPERTIES OF ORIENTED FERROELECTRIC FILM Candidate： Liu Chaoqian Supervisor： Prof. Fei Weidong Academic Degree Applied for ： Doctor of Engineering Speciality： Materials Physics and Chemistry School of Materials Science and Affiliation ： Engineering Date of Defence ： Oct, 2009 Degree-Conferring-Institution ： Harbin Institute of Technology 摘要 摘要 由于薄膜材料往往具有基底支承，因此薄膜中往往存在有残余应力；又由于 晶体本身存在的各向异性以及薄膜生长过程中往往处于各种各向异性外场下，如 电磁场、温度场等等，故而薄膜中又往往存在有纤维型织构(又称丝织构) 。丝织构 和残余应力可认为是薄膜的本征属性，它们对薄膜的各种物理及力学性能具有重 要的影响。 尽管织构表征方面已经存在多种成熟的方法，如极图法、反极图法、取向分 布函数法(ODF) 以及择优取向参数法等，但真正能够同时满足织构的定性、定量分 析的方法目前也仅仅是取向分布函数法。显然，采用取向分布函数法分析丝织构 显得过于奢侈。本文首先简化了丝织构的描述，而后基于 X 射线ω扫描方法，提 出了一种新的丝织构定性、定量表征方法。为验证所提丝织构表征方法的有效 性，文中以沉积态 Pt 薄膜为例，利用所提方法和 ODF 法共同研究了 Pt 薄膜中的 织构。研究结果表明，所提方法能够有效且更为便捷的确定薄膜中的丝织构。 样品中残余应力的分析往往需要借助晶粒间相互作用模型。为有效便捷的分 析薄膜中的残余应力，本文提出了一种局域晶粒间相互作用模型思想。局域模型 仅仅束缚了参与衍射的晶粒的力学状态、而不是所有晶粒的力学状态，因而可以 认为局域模型对样品中晶粒的力学状态的束缚远较以往传统模型的束缚弱，从而 会使最终分析得到的残余应力结果更接近实际。为了验证所提的局域模型思想在 分析样品残余应力时的有效性，文中基于两个极端传统模型提出了两个具体的相 应局域模型，并利用这两个局域模型对同一个 Pt 薄膜的残余应力进行了表征。同 时，为了避免侥幸的结果出现，每一个模型都对三个晶面族进行了应力分析。研 究结果表明，两个局域模型对三个晶面族应力分析结果都非常相近，说明在分析 材料的残余应力过程中局域模型思想是非常有效的、能够较为便捷且准确的确定 材料中的残余应力。 为具体明了丝织构取向、丝织构弥散度以及残余应力对钙钛矿型铁电功能薄 膜体系的物理性能具有重要的影响，文中基于 Landau-devonshire 理论、之前对丝 织构的简化描述及电畴间相互作用假设，分别以具有丝织构的多晶 2-2 型 BaTiO /CoFe O 多铁复合功能薄膜为例研究其磁电耦合性能、以具有丝织构的 3 2 4 PbTiO3 铁电薄膜为例研究其相变行为。在研究过程中，建立了以织构取向、织构