新型气体传感器及阵列.ppt

主要内容 第一章 相关背景简介及课题研究内容 第二章 器件结构选择及气敏测试系统组建 第三章 PANI及PANI/TiO2敏感薄膜的制备、 表征及气敏特性的研究 第四章 PANI/SnO2和PANI/SnO2-TTAB薄 膜的制备、表征及气敏特性的研究 1.1 课题的来源及意义 课题的来源 本课题来源于国家杰出青年科学基金――传感技术及其系统项目。 课题的意义 进行环境监测 保证人们的健康和生活 1.2 气体传感器的研究现状 高分子电阻式气体传感器 浓差电池式气体传感器 声表面波式气体传感器 石英谐振子式气体传感器 1.3 本课题的研究内容 主要内容 第一章 相关背景简介及论文主要工作 第二章 器件结构选择及气敏测试系统组建 第三章 PANI及PANI/TiO2敏感薄膜的制备、表征及气敏特性的研究 第四章 PANI/SnO2和PANI/SnO2-TTAB薄 膜的制备、表征及气敏特性的研究 第五章 实验结论与工作展望 2.1 器件结构设计 气体传感器的信号检出元件有两大类： (1)电学器件 平面叉指电极(IDE) 场效应管(MOSFET) (2)声学器件 声表面波器件(SAW) 2.1 器件结构设计 平面叉指电极结构 2.2 气敏测试系统的组建 2.3 气体传感器的主要特性参数 (1)器件电阻R0和RS (2)相对灵敏度S (3)响应时间T1及恢复时间T2 (4)重复性及稳定性 (5)选择性 主要内容 第一章 相关背景简介及论文主要工作 第二章 器件结构选择及气敏测试系统组建 第三章 PANI及PANI/TiO2敏感薄膜的制备、表征及气敏特性的研究 第四章 PANI/SnO2和PANI/SnO2-TTAB薄 膜的制备、表征及气敏特性的研究 第五章 实验结论与工作展望 3.1 PANI/TiO2和PANI敏感薄膜的制备 (1)基片预处理 (2) 薄膜的制备 3.2 PANI/TiO2和PANI敏感薄膜的表征 3.2 PANI/TiO2和PANI敏感薄膜的表征 PANI/TiO2复合薄膜和PANI薄膜紫外—可见光谱分析 3.2 PANI/TiO2和PANI敏感薄膜的表征 PANI/TiO2复合薄膜和PANI薄膜红外光谱分析 3.3 PANI/TiO2和PANI敏感薄膜气敏特性研究 PANI/TiO2复合薄膜和PANI薄膜传感器对NH3响应—恢复特性 3.3 PANI/TiO2和PANI敏感薄膜气敏特性研究 PANI/TiO2复合薄膜和PANI薄膜传感器对不同浓度NH3的灵敏度比较 PANI/TiO2复合薄膜和PANI薄膜传感器对不同浓度NH3气体的响应时间（T1）及恢复时间（T2） 3.3 PANI/TiO2和PANI敏感薄膜气敏特性研究 PANI/TiO2复合薄膜和PANI薄膜传感器对NH3重复性 3.3 PANI/TiO2和PANI敏感薄膜气敏特性研究 PANI/TiO2复合薄膜传感器对不同浓度CO的响应—恢复特性(a) PANI/TiO2复合薄膜和PANI薄膜传感器对不同浓度CO的灵敏度比较(b) 3.3 PANI/TiO2和PANI敏感薄膜气敏特性研究 PANI/TiO2复合薄膜传感器对23ppmCO重复性(a) PANI/TiO2复合薄膜传感器对NH3和CO的灵敏度比较，如图(b) 3.3 PANI/TiO2和PANI敏感薄膜气敏特性研究 PANI/TiO2复合薄膜温度特性 60℃下，PANI/TiO2复合薄膜对不同浓度NH3气体的响应—恢复特性 (a) 室温下和60℃下，PANI/TiO2复合薄膜对不同浓度NH3气体的灵敏度比较 (b) 3.3 PANI/TiO2和PANI敏感薄膜气敏特性研究 (2) PANI/TiO2复合薄膜湿度特性 室温下PANI/TiO2复合薄膜气体传感器的湿度特性 3.4 HCl和PTSA掺杂PANI/TiO2复合薄膜表征 HCl和PTSA掺杂PANI/TiO2复合薄膜的SEM分析 3.5 HCl和PTSA掺杂PANI/TiO2复合膜气敏特性研究 HCl和PTSA掺杂PANI/TiO2复合薄膜传感器对NH3响应—恢复特性 3.5 HCl和PTSA掺杂PANI/TiO2复合膜气敏特性研究 HCl和PTSA掺杂PANI/TiO2复合薄膜传感器对不同浓度NH3的敏感特性 HCl和PTSA掺杂PANI/TiO2复合薄膜传感器对不同浓度NH3气体的响应时间（T1）及恢复时间（T2 ） 3.5 HCl和PTSA掺杂PANI/TiO2复合膜气敏特性研究 HCl和PTSA掺杂PANI/TiO2复合薄膜传感器对NH3重复性 3.5 HCl和PTSA掺杂PANI/TiO2复合膜