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第6章 位移、速度及加速度检测 自感式传感器 差动变压器位移计 电位器传感器 电容式位移传感器 光栅位移测试 码盘式传感器 激光式传感器 磁电感应式速度传感器 光电式转速计 加速度传感器 第6章 位移、速度及加速度检测 位移、速度和加速度是机械运动的重要参数。 本章主要介绍自感式传感器 、差动变压器位移计、电位器传感器、电容式位移传感器、光栅位移测试、码盘式传感器、激光式传感器、磁电感应式速度传感器、光电转速计、加速度传感器等的原理、结构、特性及应用。 6.1 自感式传感器 6.1.1 自感式传感器的原理及分类 自感式传感器又称电感式传感器或变磁阻式传感器，原理如图示。 线圈的电感值为 6.1 自感式传感器 6.1 自感式传感器 自感式传感器分为三种类型 6.1 自感式传感器 6.1.2 输出特性 变气隙式和变截面式自感传感器的输出的特性如图示。其灵敏度分别为 6.1 自感式传感器 6.1.3 差动自感传感器原理 差动变气隙式自感传感器结构及测量（交流）电桥（调幅电路） 如图示。 6.1 自感式传感器 习题： 1. 请证明差动变气隙式自感传感器的灵敏度是单线圈变气隙式自感传感器的2倍，且非线性也显著改善。 6.1 自感式传感器 测量电路 常用测量电路有调幅电路、调频电路、调相电路等。调幅电路如图示。 6.1 自感式传感器 空载输出电压 6.1 自感式传感器 输出特性 6.1 自感式传感器 6.1 自感式传感器 6.1.4 自感式位移计 一、轴向电感式位移计的结构 采用差动自感传感器 6.1 自感式传感器 差动自感传感器测厚仪 习题: 1. 请选用单线圈变气隙式自感传感器设计一测量塑料薄膜厚度的装置。 要求：①画出原理图；②简要说明测量原理；③导出相应的灵敏度K的表达式。提示： 6.2 差动变压器位移计 6.2.1 差动变压器原理、特性及测量电路 差动变压器结构与原理 6.2 差动变压器位移计 6.2 差动变压器位移计 ①铁芯在平衡位置， ②铁芯右移，  ③铁芯左移， ②和③输出均为交流电压（调幅信号），只是相位相差180°。若用示波器看波形，结果是一样的。若用电压表测量，只能判断位移大小，不能判断移动方向。 6.2 差动变压器位移计 输出特性 6.2 差动变压器位移计 测量电路 为了同时测出位移的大小和方向，并抑制零点残余电压的影响，常用差动整流电路或 相敏检波电路。 6.2 差动变压器位移计 相敏检波电路要求参考电压与输入电压（即差动变压器输出电压）同频率、同位相（或反位相）。低频时，差动变压器初、次级电压有相位差，需要在线路中接入移相器；高频时，相位差很小，可以不设移相器。 移相器 ？ 6.2 差动变压器位移计 6.2.2 差动变压器位移计 一、结构 二、测量电路 1. 大位移测量电路 6.2 差动变压器位移计 2. 微小位移测量电路  微压力变送器 差动变压器液位测量仪 自感/互感传感器测位移特点： 主要优点：①分辨率高，可测0.1?m或更小的线位移或0.1″的角位移。②输出信号强，电压灵敏度可达(0.5~5)V/mm。③线性好，重复性好。在一定位移范围内（最小几十?m，最大数十至数百mm），线性度可达±0.1%，且比较稳定。④结构简单。 主要缺点：①零点残余电压。②不宜高频动态测量。 6.3 电位器传感器 6.3.1 电位器传感器原理电位器式电阻传感器的结构如图示，图(a)为直线式电位器，可测线位移；(b)为旋转式电位器，可测角位移。 6.3 电位器传感器 6.3 电位器传感器 6.3.2 电位器传感器输出特性 6.3 电位器传感器 6.3.3 电位器传感器结构①电阻丝：电阻系数大，温度系数小，对铜的热电势应尽可能小。常用的有铜镍合金类、铜锰合金类、镍铬丝等。②骨架：不易变形，表面绝缘电阻高，散热好。常用的有陶瓷、酚醛树脂、工程塑料等。 ③电刷：与电阻丝接触电势小，并有一定的接触力。 6.3 电位器传感器 6.3.4 电位器式位移传感器 YHD型电位器式位移传感器结构如图示。只测位移大小，可直接测2的输出电压。同时测位移的大小和方向，可将4和2组成桥式测量电路。 6.4 电容式位移传感器 6.4 电容式位移传感器 应用举例 6.4 电容式位移传感器 6.4.2 容栅传感器及其应用 6.5 光栅位移测试 6.5.1 光栅的