多功能微柱透镜焦特性的研究.pdfVIP

中文摘要 摘要；光学自诞生以来，经历了几百年漫长而曲折的发展．由于基于折反射 原理的传统光学元件，如透镜、棱镜等，它们的特征尺寸远远大于光波波长，因 此，在处理光传播的问题时，可以采用基于基尔霍夫公式的标量衍射理论进行求 解．20世纪60年代以来，随着激光的发明和近年来光刻蚀技术的发展，光学元件 逐步向小型化、高效化、阵列化、和集成化的方向发展．当微小衍射光学元件的 特征尺寸与波长可以相比拟时，光的散射效应变得非常显著，因此，必须考虑光 的矢量衍射特性．在衍射光学中，原来的标量衍射理论不再适用，必须应用严格 的矢量衍射理论来进行分析、计算和设计．本论文基于严格的电磁场理论，结合 电磁场的边界条件，运用边界元方法来求解麦克斯韦方程组，对多波长微小光学 透镜进行电磁场分析．主要结果有： 1，给出了具有长焦深性能的有限厚度的透镜，在TE偏振的情况下，利用边界 元方法分析了多波长入射下的该透镜的共同扩展焦深、光斑大小、衍射效率 等聚焦特性，然后，给出两个改进型的微柱透镜，实现了更长的共同扩展焦 深、更小的光斑尺寸、更高的衍射效率． 2，把边界元方法推广应用到无穷周期结构，实现了利用边界元方法计算无限长 周期结构的微柱透镜阵列，并取得了一些结果． 关键词。微小光学元件；边界元方法；衍射光学；长焦深 分类号；043 埘 has been and inthelast ABSTRACT：．Optics experiencedlong zigzagdevelopments severalcentudcs sinceitsbirth．Traditionalelementssuchaslensesand optical prisms arebasedonrefractiveand feature reflective SISlMJare much principle．Thcir always thanthe of that scalardiffractionwhich larger wavelengthlight,SO theory we啪apply isbasedonthe Fresnel-Kirchhoffdiffractionfommlato the ofthem． analyzeproperties After 1960。s，withtheinventionoflaserandtheadvanceof inrecent opticalHthography elements be咖esmallerandsmallerwith years，opticalgradually higherefficiency．It alsotendstobe thefeaturesizeof elementbocomes integrated．When micro-optical with effectsbocome Orsmallerthanthe comparable