8×8+MOEMS光开关的准直、耦合系统设计及其实验的研究.pdfVIP

摘要 随着现代社会对信息传输容量和速度要求的不断提高，人们对现有的通信体 系提出了更高的要求。光纤通信由于具有许多优点，如巨大的传输带宽、极低的 传输损耗以及抗强电磁干扰等而得以快速发展。随着光纤通信技术的进步和密集 波分复用(DWDM)系统的应用，全光交换已经成为当前光网络的发展趋势。 光开关是全光交换的关键器件，MOEMS光开关由于具有潜在插入损耗和串扰 低、消光比高、与波长和偏振无关等诸多优点而成为光网络中光交叉连接(OXCs) 和光分插复用器(OADMs)的主流器件。 准直、耦合技术是MOEMS光开关阵列的一项关键技术。本论文首先对8 ×8MOEMS光开关中高斯光束在自由空间中的传输规律和开关中的激光光路进 行了分析；对单模光纤的模式理论和直接耦合方式进行了探讨；对采用球透镜准 直耦合的方式进行了分析计算，得出了需要的数据，并在此基础上完成准直耦台 系统的设计。其次，研究了单晶硅的结构和各向异性腐蚀特性，并针对(100) 单晶硅各向异性腐蚀中的凸角损伤问题提出了凸角补偿设计方案，设计并采用 MEMS各向异性湿法腐蚀技术制作出基于自对准原理的8×8MOEMS光开关阵 列基座。 关键词：MOEMS，光开关，微球透镜，自对准，各向异性腐蚀 Abstract Moredemandswere forwardwhentheinformationtransmit and put capacity communication were tobe incurrent systems．010tical speed required hi曲er ithasso meritssuchas is aDacebecause communication many systemdeveloped transmitlossesandanti—interfereof tremendoustransmit low bandwidth、very strong schemehasbeenthetrendofmodem electromagnetism．A11opticalexchange optical and of networkwithtlle of communication developmentoptical systemapplication Dense switchisthe element Wavelength-DivisionMultiplexingfDWDM)．Opticalkey switch canachievesmall ofall network．MOEMS optical optical alrays，which insertion cross and lOSS。lOW COntrast，andwavelength