SAW+RF滤波器的设计和仿真.pdf

摘 要 目前，移动通信产品以不可阻挡的发展势头向小型化方向发展。顺应这一发展趋 势，声表面波（SAW ）射频（RF ）滤波器因其优异的性能，在手机和其它移动通信 产品的小型化中发挥了重要的作用，高性能的 SAW RF 滤波器的设计也因此成为了国 内外SAW 领域的研究热点之一。 设计高性能的 SAW 器件要求有精确和有效的仿真工具。本文采用耦合模 （COM ） 模型对各种结构均匀的单叉指结构的 SAW 器件进行仿真,主要原因是：比起其它模型， COM 模型可以达到更为精确的仿真。在阐述 SAW 器件仿真时，本文将 SAW 器件分 成简单和复杂两种，并提出了简单和复杂 SAW 器件的仿真方法。为验证前面提出的 仿真方法的精确性，本文通过对阻抗负载 SAW 传感器进行仿真，并将仿真结果与实 际测试结果进行比较，由于结果吻合的很好，从而证明了本文中所提出的基于 COM 模型的仿真方法的精确性。在仿真的基础上，本文设计了梯形滤波器。按照梯形滤波 器的设计过程，先后论述了衬底材料的选择，整体结构的设计，串并臂谐振器几何结 构参数的设计，以及梯形滤波器的模拟。虽然梯形滤波器具备低损耗，宽带宽等众多 优点，但是梯形滤波器的带外抑制一般，从而限制了它的应用范围。本文利用梯形滤 波器与纵向耦合双模谐振器型滤波器（DMS ）的互补关系，通过将梯形滤波器与(DMS) 滤波器相级联，设计具有高带外抑制的滤波器。设计大概过程包括下面几个步骤：首 先设计一个中心频率与梯形滤波器相同或相近的 DMS 滤波器，然后将梯形滤波器与 DMS 滤波器进行多种方式的级联，并对级联后的器件进行模拟分析，最后通过比较 得到性能较好的高带外抑制 RF 滤波器。 关键词：耦合模 梯形滤波器 纵向耦合双模滤波器 级联 I ABSTRACT In recent years, miniaturization is one of the trends of the mobile telecommunication product. Surface Acoustic Wave (SAW) radio frequency (RF) filter is a product with this features .Because of its high-performance, SAW RF filter play a important role to improve the size of cellular phones other mobile communication products. So the design of SAW RF filter with high-performance becomes one of the hot topic at SAW field. The design of SAW RF filter with high- performance requires precise and efficient simulation tools. In this work, Coupling-of-modes (COM) model is applied to the simulation of SAW devices, whose interdigital transducer (IDT) is uniform , symmetry and single-electrode-type. Because more precise simulation result can be got based on COM m odel, comparing with other models. SAW devices are divided into two kinds, called single and complicated SAW devices. The discussing of the modelling is focused on the single SAW devices. And COM