磁微执行器分布参数模型的研究.pdf

摘 要 磁驱动微执行器是一种重要的微执行器。与静电驱动相比，磁驱动具有一些无可替代的优点， 例如：是电流控制型器件，不需要产生高电压的殴备、能提供较大的驱动力或力矩、行程长等。因 此，尽管磁微执行器在制造工艺方面存在一些困难，但它们一直得到人们的特别重视。近来，Ahn 提出了一种磁微梁执行器，其制造工艺与CMOS工艺兼容，性能优良，有很好的应用前景。本论文 就以Alan的磁微梁执行器为研究对象。与静电微梁执行器类似，磁微梁执行器中的磁场力与微梁的 弹性变形是耦合的，是典型的与弹性变形相关的非线性力。分析计算这类器件的方法可分为三类： (1)．数值法。有限元法、边界元法等数值方法能很好地处理复杂几何形状及边界条件，适用性很广。 但数值法的方程阶数很高，计算效率很低，不利于系统级模拟。数值法更适用在校核计算中。 (2)．解析法。对于简单几何形状及边界条件的器件，可以直接求出解析解。该解的优点是能体现几 何参数与器件性能的关系，非常利于系统级仿真和优化。缺点是只能处理非常简单的工况。 (3)．宏模型法。宏模型是一种降阶的方程，是解析形式的，一般方程阶数只有几个，计算效率高， 非常利于系统级仿真。 目前已有的磁微