气体稀薄效应对微机电系统(MEMS)气体轴承-转子系统不平衡响应的影响.pdfVIP

第 49卷 第 7期 西 安 交 通 大 学 学 报 Vo1．49 NO．7 2015年 7月 JOURNALOFXI’AN JIAOTONG UNIVERSITY Ju1．2015 DOI：10．7652／xjtuxb201507022 气体稀薄效应对微机电系统 (MEMS)气体 轴承一转子系统不平衡响应的影响 杨琴 。，刘宇陆 ，张海军 ，祝长生 (1．上海大学应用数学与力学研究所，200072，上海；2．嘉兴学院数理与信息工程学院，314001，浙江嘉兴； 3．嘉兴学院机电工程学院，314001，浙江嘉兴；4．浙江大学 电气工程学院，310027，杭州) 摘要 ：为研 究气体稀薄效应对微机 电系统 (MEMS)气体轴承一转子系统不平衡响应的影响 ，给 出了 MEMS气体轴承一转子 系统运动方程和 MEMS气体轴承的雷诺方程；利用双 向隐式差分算法，给出 了修正雷诺方程的详细数值求解过程；将转子运动方程与雷诺方程相结合 ，采用 4阶龙格一库塔方法 计算分析了气体稀薄效应对气体轴承一转子系统不平衡响应的影响。研究结果显示，考虑气体稀薄 效应后 ，当质量偏心距较大时，MEMS气体轴承一转子系统的失稳轴颈转速较大，表 明合适的偏心 质量有助于改善系统的稳定性；在相 同的质量偏心距下，考虑气体稀薄效应 时气体轴承一转子系统 在较低轴颈转速处出现峰值 ，表明此时不平衡偏心质量对气体轴承一转子系统运动的影响增大。 关键词：微机 电系统；气体轴承一转子系统；不平衡响应；稀薄效应 ；双向隐式差分算法 中图分类号 ：TH117．2 文献标志码 ：A 文章编号 ：0253-987X(2015)07—0134—06 InfluenceofGasRarefactionEffectonUnbalanceResponseof Micro-Electro-Mechanical(MEMS)GasBearing—RotorSystem YANG Qin ，LIU Yulu ，ZHANG Haijun。，ZHU Changsheng (1．InstituteofAppliedMathematicsandMechanics，ShanghaiUniversity，Shanghai200072，China； 2．CollegeofMathematicsPhysicsandInformationEngineering，JiaxingUniversity，Jiaxing，Zhejiang314001，China 3．CollegeofM echanical-ElectricalEngineering，JiaxingUniversity，Jiaxing，Zhejiang314001，China} 4．CollegeofElectricalEngineering，ZhejiangUniversity，Hangzhou310027，China) Abstract：To investigate the influenceofgasrarefaction effecton theunbalanceresponseof micro-electro—mechanicalsystem (MEMS)gasbearing—rotorsystem ，themotion equationofthe M EMSbearing-rotorsystem andtheReynoldsequationofM EM Sgasbearingarepresented，and theprocessofsolving themodified Reynoldsequation using thealternating—direction implicit differencemethodisgiven．ThemotionequationoftherotorandthemodifiedReynoldsequation arecombined，andthe