第4章 MEMS微传感器工作原理(第2部分).ppt

求职应注意的礼仪 求职时最礼貌的修饰是淡妆 面试时最关键的神情是郑重 无论站还是坐，不能摇动和抖动 对话时目光不能游弋不定 要控制小动作 不要为掩饰紧张情绪而散淡 最优雅的礼仪修养是体现自然 以一种修养面对两种结果 必须首先学会面对的一种结果----被拒绝 仍然感谢这次机会，因为被拒绝是面试后的两种结果之一。 被拒绝是招聘单位对我们综合考虑的结果，因为我们最关心的是自己什么地方与用人要求不一致，而不仅仅是面试中的表现。 不要欺骗自己，说“我本来就不想去”等等。 认真考虑是否有必要再做努力。 必须学会欣然面对的一种结果----被接纳 以具体的形式感谢招聘单位的接纳，如邮件、短信 考虑怎样使自己的知识能力更适应工作需要 把走进工作岗位当作职业生涯的重要的第一步，认真思考如何为以后的发展开好头。 Thank you c.流量传感器——压电流速传感器 压电材料的特性 压电材料都是晶体。微观上，压电性源于晶体中离子电荷的位移，它导致极化并形成电场。并不是所有的天然晶体或合成晶体都表现出压电性。根据对称性，晶体被分为32种点群结构。其中11种为中心对称晶体，在应力作用下，它们的正负电荷中心不会发生空间上的分离，因此这些晶体不是压电材料。剩余的21种非中心对称的点群中，有20种为压电晶体。 石英 作为一种天然的压电材料，石英最熟悉的应用是手表中的振荡器石英并不是唯一具有压电效应的晶体材料，但是由于它的谐振频率对温度特别不敏感，因此才具有这样的效应。 PZT 因具有很高的压电耦合系数，锆钛酸铅—— Pb（Zrx,Ti1-x)O3或PZT——体系以多晶结构形式得到了广泛应用。PZT 实际代表一类压电材料。由于制备方法不同，PZT材料可以具备不同的结构和特性。 PVDF 聚偏二氟乙烯（PVDF)是一种具有单链的合成含氟聚合物。它呈现出压电性、热释电性及铁电性；并具有卓越的化学稳定性、机械柔韧性以及生物兼容性，PVDF的压电性已经得到深入研究。 ZnO ZnO材料的生长方法很多，包括射频或直流溅射、离子电镀和化学气相淀积等。在MEMS领域，经常通过磁控溅射将ZnO淀积到不同的材料上，并使c轴接近于衬底的法向。 压阻传感器材料 金属应变计 典型的应变计形状如右图所示。通常 用之字形的导电通路以便在给定面积 下来有效的增加电阻的长度和总电阻 的大小。 单晶硅 半导体应变计可以通过对硅进行选择性掺杂来实现。 多晶硅 对于MEMS压阻器，多晶硅比单晶硅具有更多的优点，包括多晶硅能够淀积在更多的衬底上。多晶硅也表现出压阻特性，但它的应变系数比单晶硅要小的多。 光MEMS 无源MEMS光学器件 透镜 反射镜 有源光MEMS执行器 离面小位移执行器 面内大位移执行器 离面转动执行器 光学是MEMS技术应用最早且最为活跃的领域之一。典型的应用领域包括数字投影仪（DLP）、全彩色数字显示、光纤光开关、生物光学探测的集成系统、可调光源及传感器等。 将MEMS应用到光学领域，有其特有的优势。首先光子几乎没有质量，并且施加在微结构上的力很小，硅加工形成的器件只和这些光子有相互作用，所以应用在光学上非常合适。其次，光MEMS的封装相对简单。光MEMS部件可以封装在透光的外壳内，保证不受诸如粒子、气流等环境因素的干扰。 光MEMS在20实际90年代后期经历了大规模的商业化努力，向宽带光纤通信中广为看好的信道开关市场发展。光MEMS在提高当代MEMS执行器的技术发展水平方面起到了重要作用。 MEMS技术应用到光学领域也面临一些挑战。例如，在微机械部件上制备抛光平滑的镜面通常都比较困难，使光学微镜不太理想。光MEMS器件也面临来自固态和光电器件的竞争。 7.1 无源MEMS光学器件 典型无源器件及其应用包括： ◆反射镜，显示和光束导引； ◆衍射光栅，分光计和干涉计； ◆透镜元件，折射透镜、二元透镜和棱镜； ◆光纤传输，光纤和片上光波导。 透镜 透镜是光学系统里最具特点的元件，传统光学系统里最常用到的透镜是二维或一维曲面的折射透镜。 常见透镜 反射镜 光学反射镜是另一类重要的光学器件。MEMS中光滑平坦的反射表面通常是由以下的一种方式得到：1）使用单晶半导体晶片的抛光面，其空间均方粗糙度为1.2nm；2）用各向异性湿法刻蚀得到原子尺度上光滑的{111}硅表面；3）降低反射镜薄板的弯曲度；4）使用多层反射涂层。 7.2有源光MEMS执行器 有源光MEMS元件包括反射镜、光栅、光闸等，有着广泛的应用。光MEMS应用要求的运动有两种：旋转运动和平移运动。在所有可能的执行器种类里，小范围运动的执行器是最容易设计的一种。例如，用梳齿驱动执行器可以实现带有光学单元的微机械结构面内