《三自由度精密定位工作台的设计与运动学分析》.pdfVIP

第 43卷 第 5期 天 津 大 学 学 报 Vb1．43 NO．5 2010年 5月 JournalofTianjinUniversity M ay20l0 三 自由度精密定位工作台的设计与运动学分析 贾晓辉，张大卫 (天津大学机械工程学院，天津 300072) 摘 要：针对精密柔性工作台多自由度 高精度运动的需求，设计了一种采用柔性并联构型和压电陶瓷驱动的三 自由 度定位平台，通过建立的伪刚体模型进行运动学正解分析，并引入修正系数消除长杆柔性及柔性铰链 中心偏移对工作 台位移输出的影响，进一步提高了所建数学模型的精确度．利用有限元分析工具仿真了所设计的定位工作 台的性能， 确定了该工作 台的修正系数矩阵，最终仿真试验验证了所建运动学模型的正确性． 关键词：压印光刻；机构设计；运动学建模 中图分类号：TH703 文献标志码 ：A 文章编号：0493—2137(2010)05．0457—07 DesignandForwardKinematicsof3-DOFPrecisionPositioningStage JIAXiao．hui．ZHANG Da-wei (SchoolofMechanicalEngineering，TianjinUniversity，Tianjin300072，China) Abstract：A 3-DOFpiezo—drivencompliantparallelpositioningstagehasbeendesignedtomeettherequirementof multi—dimensionalnanometerlevelpositioningofflexure—basedprecisionmechanism．Forwardkinematicanalysisof thestagehavebeenconductedbasedonthepseudo—-rigid--bodymodelestablishedandmodifiedcoefficientshavebeen introduced to eliminatethe effectdeformations of long linksand drittofflexure hinge centeron the stage displacement，SOthattheaccuracyofthemathematicalmodelhasbeenraised．Thekinematicperfomr anceoftheposi- tioningstagehasbeensimulatedwithfiniteelementanalysistechniqueand itsmodifiedcoefficientmatrixhasbeen detemr ined．Simulation resultshavevalidatedtheestablishedkinematicmodel，which can alsobeappliedtoother nano—operationprecisionpositioningsystems． Keywords：nanoimprintlithograph；mechanicaldesign；kinematicmodeling 20世纪 90年代提出的纳米压印光刻技术 同其 系统中主动调整部分并没有涉及柔性结构而且也只 他光刻技术相比具有分辨率高、制作成本低、生产效 有部分 自由度实现了主动的调整，而完全意义上的主 率高，适合产量化生产等优点，已成为下一代 32纳米 动调整型定位系统还较为鲜见 ，因此开展这方面的研 工艺的关键技术ll。J．近年来，应用于纳米压印光刻技 究是十分必要的． 术的微纳定位系统的研究已引起各国