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化合物半导体Camp;lt;,1-xamp;gt;Znamp;lt;,xamp;gt;Te中的In掺杂及其与Au的接触特性.pdf
摘 要
摘 要
C
d1.。孙,Te晶体具有优异的光电特性,是理想的室温核辐射探测器用材料。
尽管对cdl.。zn,【1陀的研究由来已久,但在高电阻Cdl.。znxTb晶体制备、大直径
cdl。孙。Tc晶体生长以及金属与CdI.。zn。Te晶体接触等方面尚存在诸多难题。本
文针对这三个问题进行了探索研究。
由于生长过程中组元Cd的挥发,Cdl.。z11xTc晶体中容易形成大量的Cd空位
等点缺陷。这些电活性点缺陷的存在严重影响了cdl。zrnxTc晶体的光电性能。针
对上述问题,本文通过生长掺杂和退火掺杂两种途径,对本征Cdl。动。Te晶体进
行了掺hl改性,并通过二y曲线,红外透过谱以及光致发光谱等手段考察了h
的掺入对晶体性能的影响。研究表明,h1的生长掺杂和退火掺杂均能够有效提高
Cdl.,办。Tc晶体的电阻率。通过生长掺杂,其电阻率由3×107mm增加至
5×10”‘km,提高了3个数量级。而经过退火掺杂,Cdl.;办,Te的电阻率由
均降低了Cdl.;ZIlxTc晶体的红外透过率。这是由于,hl的引入增加了自由载流子
的浓度,使得自由载流子对红外光的吸收加强。hl的引入还在总体上增大了晶格
振动时的电偶极矩,造成晶格吸收的加强。这两方面的原因共同导致了红外透过
率的降低。生长掺杂并没有导致Cdl。历。Tc结晶质量的变化。而退火掺杂后,X
cnl一,说明晶体的结晶质量得到提高。PL谱测试表明,生长掺hl后,杂质及缺
陷复合区由一个微弱的凸起扩展为一个明显的宽大波包,证实了掺杂后缺陷复合
体(2历∥,瞄甲的存在。同时,施主.受主对复合对应的DAP峰的强度增加,且
出现了声子峰DAP.L0。而掺杂后(Ao,x)激子峰消失,说明cd空位已经得到有效
补偿。退火掺杂后,中性旌主束缚激子峰(D0,)()的半峰宽明显减小,同时在(D惆
的高能肩出现了自由激子峰FE,并且施主.受主对复合导致的DAP峰强度也明显
高于掺杂前的情况,D。—l。峰的强度略有提高。
针对Cdl。盈kTc:h的常规表征手段非常复杂,而且测试过程有可能对晶体本
身造成损伤。为此,我们通过对大量cdl。砜Te:hl晶片低温PL谱的分析测试,
两北I。业人学博十学付论文
总结了其特征峰的变化特点,并结合晶体的结构和电学性能,建立起一套简单有
效且能从本质上反映晶体质量的无损评价方法。研究发现,对于高质量
的峰形越明锐,质量越好。而在低质量cdl.。zn。Te:m晶体中,近带边区内的主峰
能区分出自由激予FE发光峰,而对于低质量的Cdl.。办xTe:m,则很难看到这一
点。∞o,x)峰的半峰宽%啊佃r与Te沉淀/夹杂密度D强之间存在着一定的联系,
前者随着后者的增加而单调递增。二者之间的关系可以表达为
的大小。如。/‘矿。越大,D一越高。其原因是位错所束缚的激子会产生复合发
光,反映在光谱上就表现为Dc州,kx峰的增强。而DAP峰和Dc。叫。峰的相对强度
之差与电阻率具有紧密的对应关系。随着,。/‘D.m一如一/‘D.朋的增大,晶体的
电阻率下降。
采用改进炉体设计和温场分布的垂直布里奇曼晶体生长炉,成功制备出了直
径为60I砌的大尺寸Cdl。办,Te:hl晶体,并通过比较位错蚀坑密度,x射线回摆
曲线,红外透过谱以及光致发光谱等,详细分析了晶锭尺寸变化对于Cdl.函。Tc:hl
晶体性能的影响。研究表明,当直径为30I啪时,其位错密度低,x射线回摆曲
线的峰形尖锐,对称性良好,半峰宽窄。而当直径增加到60Inm时,其位错密度
上升了一个量级,且X射线回摆曲线的峰形钝化,峰侧存在着明显的劈裂,半峰
宽亦被宽化。上述变化是由于,晶锭直径的增加引起了温场不均匀性的提高,从
而导致生长成的Cdl.。zn。Te:hl晶锭中产生更大的应力所致。同时,晶锭直径的增
加会引起红外透过率的小幅度升高。这是由于,当晶体直径变大时,位错密度会
有所增加,有更多的自由载流子被俘获。这就同时引起了自由载流子对于红外光
吸收的弱化,从而提高了其红外透过率。当晶体直径增加时,低温PL谱中与位
错相关的Dco埘舨峰的强度会明显加强,而施主.受主对复合导致的DAP峰强度会
有所削弱。
为了改善Au—Cdl.。ZIl。Tc:hl的电学接触特性,我们采用退火对其进行了处理。
研究表明,退火处理能有效降低漏电流,并且漏电流降低的程度随着退火温度的
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