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2016-01-19 发布于天津
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tof-sims入門第3回-アイテス

TOF-TOF-SIMSIMSS 入門入門セミナーセミナー TOFTOF--SIMSIMSS 入門入門セミナーセミナー A-12-0710 ＴＯＦ－ＳＩＭＳ入門セミナー第３回技術営業山本陽一装置の概要と基本的な測定原理（その２）７．質量分解能 TOF-SIMSの特徴の一つに、その高い質量分解能があります。質量分解能は以下のように定義されます。ここで、 R：質量分解能、ｍ：対象となる質量、 Δｍ：対象となる質量のピークの半値幅となります。図４質量分解能の例〒520-2392 滋賀県野洲市市三宅 800 番地株式会社アイテス品質技術 TEL ：077-599-5020、FAX ：077-587-5901 1／5 TOF-TOF-SIMSIMSS 入門入門セミナーセミナー TOFTOF--SIMSIMSS 入門入門セミナーセミナー A-12-0710 例えば、図４の例の場合、SiHのピークで考えると、ｍ≒２９、 SiH