Sn4+、La+和Ce4+掺杂氧化钛纳米薄膜湿敏性能的研究.pdfVIP

摘 要 本工作采用溶胶–凝胶法在印有梳状银电极的石英玻璃表面制备了纯氧化钛、 TiO –20wt%SnO 和 La3+/Ce4+掺杂 TiO –20wt%SnO 的薄膜，在不同温度下烧结制得 2 2 2 2 湿敏元件。利用智能 LCR 测量仪在不同湿度环境下对湿敏元件的阻抗、电容等参数 进行测量，并对其湿敏性能进行分析，研究了 Sn4+ 、La3+和 Ce4+离子掺杂量、烧结温 度、工作频率、涂敷层数等对薄膜湿敏性能的影响，利用原子力显微镜对湿敏薄膜作 表面形貌分析，分析了各离子掺杂对薄膜湿敏性能的影响。 研究结果发现，在较低的工作频率和较低的烧结温度下，薄膜表现出较好的湿敏 特性。随着测试频率的增大和烧结温度的升高，薄膜的湿敏性能变差。Sn4+ 、La3+和 Ce4+掺杂后，薄膜的湿敏性能都比纯氧化钛薄膜的湿敏性能好。而且稀土离子掺杂后， 薄膜的固有阻值有所降低。 TiO2–20wt%SnO2 系 薄 膜 中 ， 湿 敏 性 能 最 好 的 是 400 ℃ 烧 结 的 一 层 9 6 3+ TiO –20wt%SnO 薄膜，在 25～95RH%范围内，阻抗值从 10 Ω下降到 10 Ω；La 掺 2 2 杂 TiO –20wt%SnO 系薄膜中，湿敏性能最好的是 0.5wt%La O 掺杂 400 ℃下烧结的 2 2 2 3 8 6 3+ 薄膜，在 45 ～95RH% 湿度范围内，阻抗值从 10 Ω 下降到 10 Ω；Ce 掺杂 TiO –20wt%SnO 系薄膜中，湿敏性能最好的是0.2wt%CeO 掺杂500℃下烧结的薄膜， 2 2 2 在 25～95RH%湿度范围内，阻抗值从 108 6 Ω下降到 10 Ω。 稀土离子掺杂导致薄膜湿敏性能下降的原因主要是由于它们在氧化钛晶界富集， 阻碍了氧化钛晶体吸附水分子和水分子的电离。 关键词：氧化钛；薄膜；离子掺杂；稀土；湿敏性能 Abstract In this paper, the sol-gel method was used to prepare pure titania, Sn4+-doped titania, and La3+/ Ce4+-doped TiO -20wt%SnO films on quartz glass plates, whose surface was 2 2 pre-printed with comb-like Ag electrode by the dip-coating route. A series of humidity sensing assemblies were obtained by sintering at different temperatures. The physical parameters such as impedance and capacitance of films were measured by using intelligent LCR equipment and the humidity sensing properties were ana