Ti-Al-S-N复合薄膜的微结构与力学性能.pdfVIP

摘 要 硬质薄膜因能显著改善切削刀具的切削性能及工模具的抗磨损性能 提高它们 的使用寿命 在现代化工业生产中广为应用 合理设计薄膜的微结构能大大提高它 们的力学性能 是硬质薄膜研究的一个重要领域 具有非晶包覆纳米晶微结构的纳 米复合膜能同时具有超高硬度及好的韧性 其特殊的强化机制具有重要的理论研究 价值 而其优良的力学性能使之具有良好的应用潜力 本文以具有较高硬度以及良好的抗氧化能力的(Ti,Al)N 薄膜为基础 通过(Ti,Al) 复合靶和Si 靶在N2 中对旋转衬底进行轮溅的双靶反应溅射和一个(Ti,Al)复合靶在N2 和 SiH4 两种反应气源中溅射的双气源反应溅射两种工艺向薄膜中加入 Si 制备了一 系列Ti-Al-Si-N 纳米复合膜 采用EDS AES XRD TEM 等方法表征了两种工艺 制备的复合膜的成分 相结构和微观组织 并利用微力学探针测量了复合膜的硬度 和弹性模量等力学性能 研究了制备方法 工艺参数 薄膜成分 微结构对复合膜 力学性能的影响规律 结果表明 1. 双靶反应溅射法和双气源反应溅射法都可以制备Ti-Al-Si-N 纳米复合膜 通过Si 靶功率的改变或 SiH4 分压的变化可以方便地控制复合薄膜的 Si 含量 并由此控 制薄膜晶粒的生长方式 使复合膜形成纳米晶甚至非晶组织 2. 两种工艺制备的 Ti-Al-Si-N 纳米复合膜中 Si 均以 TiSi 化合物的方式存在 并 x 且形成非晶或纳米晶 3. 双靶反应溅射法制备的Ti-Al-Si-N 纳米复合膜 在Si 含量为4.76 at %时达到最 高硬度28.5GPa 和最高模量356GPa 与(Ti,Al)N 薄膜相比 分别提高了9%和5% 强化效果不甚明显 4. 双气源反应溅射法制备的 Ti-Al-Si-N 纳米复合膜 随 SiH4 分压的增加 除薄膜 中Si 含量会逐步增加外 薄膜中的 Al 含量亦会明显降低 致使薄膜中的 Ti/Al I 比产生明显的变化 5. 双气源反应溅射法制备的Ti-Al-Si-N 纳米复合膜获得了明显的强化效果 在Si 时 薄膜晶粒细化至 10nm 左右 硬度和模量同时达到最高 含量为 3.47at 分别为36.0GPa 和400GPa 随着Si 含量的进一步增加 薄膜逐步非晶化 相应 地 其硬度和模量亦逐步降低 至 Si 含量为 19.81at时 复合膜的硬度和模 量降至25.4GPa 和271GPa 6. 分析认为 Ti-Al-Si-N 纳米复合膜在低Si 含量时获得的强化是(Ti,Al)N 相形成纳 米晶的效果 而高 Si 含量时薄膜力学性能的降低则是(Ti,Al)N 相的非晶化和低 硬度TiSi 相含量的增加所致 x 关键词 Ti-Al-Si-N纳米复合膜 双靶反应溅射 双气源反应溅射 微结构 力学性能 II ABSTRACT Hard thin films are widely used in modern industry because of their excellent performance in improving the properties of tools and dies, such as cutting properties, wear resistance and lifetime. Properly designing the microstructure of the thin films can greatly improve their mechanical pr