Ti离子注入及续热处理对镀膜光学玻璃性能影响的研究.pdfVIP

摘要 摘要 本论文主要研究Ti离子注入及后续热处理对镀膜光学玻璃各种性能的影 响。将Ti离子以不同的剂量、能量注入到镀膜光学白托片中进行表面改性的 研究。利用各种仪器，包括分光光度计、激光椭圆测厚仪、数字式显微硬度仪、 YB型测角仪等测定了样晶在注入前后及热处理前后红外、紫外光谱、折射率、 显微硬度、对水的润湿性等的变化情况，来探讨注入剂量、注入能盛等工艺参 数与镀膜玻璃表面性能的变化关系。结果发现，离子注入后样品的红外反射、 紫外吸收能力及显微硬度增大，润湿角和折射率减小；而在热 处理后，红外反射、紫外吸收减弱，折射率减小，显微硬度和润湿角增大。 借助于紫外分析仪对注入厉的样品进行紫外辐射，然后测定它的润湿 角，比较样品在紫外辐射前后润湿性的变化。注入后未经热处理的样．铺经紫外 照射后润湿角有较大的减小，而经过热处理的样品即使紫外辐射的时间加长， j￡润湿角也不发生明显的变化。 ，一℃此外，利用SEM、XPS等手段观察分析了样品表面在注入前后及热处理 前后成分和形貌的变化。结果发现Ti离子以Ti0：的形式存在于样品表面中， 样品表面形貌在注入及热处理前后变化不大，较好的解释了样品各种宏j!!ll性质 的变化原因。丫 ／ 关键词：离予注入，镀膜光学玻璃，光学性能，热处理 II !!!!型——．—— Abstract main to inflaence of In is ideaofthe on thisdissertation』he get purpose prdperties film-cunted Titanitun and heata3ealment． ion-implantation o皿cal羽a嚣by following ate Toric dosesand Titaniumions infilm-coated withdifferent implanted glassplate kinds to its of spoclllophotometer, energyimprove propeni=．Usingapparatos,including microhardness to laser contacttester tester,YB polarizationmeter,dil；i诅l angel elli砸cal the of m翩sIⅡe ullmviolet,infmred index， changes around andheattreatment． microhardness，andhydrophilicityion-implan枷on a andIRRSincreasedafter