Fe-Ga合金-Ga薄膜的组织成分和性能研究.pdfVIP

Research on composition and performance of Fe -Ga alloy and Fe -Ga thin film A Dissertation Submitted for the Degree of Master On Material Processing Enginnering by PAN Jin Under the Supervision of Prof. ZHANG Chen-shu and YAN Jian-wu School of Aeronautical Manufacturing Engineering Nanchang Hangkong University ，Nanchang ，China June ，2013 摘要 Fe-Ga 合金超磁致伸缩薄膜 （GMF ）是一种新型的功能薄膜，有望克服块体 Fe-Ga 合金的缺点，具有比 Terfenol-D 薄膜更加优越的性能，因此，对 Fe-Ga GMF 的研究， 已日益受到人们的重视。本文采用真 空感应熔炼法制备了 四种 Fe Ga (x=15，16，17，18)合金，研究并优化了熔炼工艺；用磁控溅射方法制 100-x x 备了不同厚度的 7 种薄膜，用光学显微镜、XRD 、扫描电镜对 Fe-Ga 合金和 Fe-Ga 薄膜进行了组织和性能表征，分析了 Fe-Ga 薄膜形成机制。主要得到以下结果： (1)利用真空感应熔炼炉熔炼 Fe-Ga 合金时，熔炼炉内的真空度和电流强度对 合金的烧损量影响较大，随着真空度的降低，Fe-Ga 合金的烧损量减小。在一定 的范围内，随着电流的增大，Fe-Ga 合金烧损量增大。在一定的范围内，当电流 增大到使 Fe-Ga 合金的熔炼温度超过其沸点时，Fe-Ga 合金中的成分会挥发，故 电流的大小设置应适当；另外石英坩埚至模具的距离也会不同程度的影响合金铸 造性能。通过适当增大电流强度、减小石英坩埚至模具的距离可以改善合金的铸 造性能。 (2)Fe Ga (原子含量，(x=15，16，17，18)四种合金的金相组织形态相同， 100-x x 合金中有部分的亚晶界，合金中的黑点为 Ga 的析出相。四种 Fe-Ga 合金的维氏 硬度随着合金中 Ga 元素含量的增加，其硬度也越来越高。利用能谱仪对 Fe83Ga17 合金进行成分测试结果表明，通过真空感应熔炼得到的 Fe-Ga 合金棒成分比较均 匀。 (3)不同的热处理方式能使 Fe-Ga 合金中出现有序-无序转变，形成不同的相， 从而改变合金的磁致伸缩性能。其中淬火能使 Fe83Ga1