光致抗蚀剂用酚树脂的合成与表征.pdfVIP

摘 要 本论文对近紫外光致抗蚀剂的主要成膜树脂一酚醛树脂进行了较系统的研 究。通过二步合成方法制备了光致抗蚀剂用酚醛树脂。首先在较低的温度下， 使对甲酚和甲醛反应制备出酚醛树脂的预聚体，然后在较高温度下加入间甲酚 反应一定时间合成最终的产品。通过改变各种合成条件，制备了一系列的酚醛 树脂，探讨了甲醛用量、反应时间、催化剂用量、水洗、不同甲酚异构体对分 子量及分子量分布的影响。增加甲醛和催化剂用量将使分子量增大、分子量分 布变宽。延长反应时间也将使分子量分布变宽。但增加水洗次数将使分子量减 小、分子量分布变窄。崤果表明，通过改变反应条件可有效地控制酚醛树脂的 ＼ 分子量及分子量分布。同时，对酚醛树脂进行了NMR、FTIR、DSC等测试， 发现其中含有。一0和o-p两大类型的亚叉基结构，不存在p-p结构，其中。一0结 构存在有位阻的和没有位阻的，主链中还存在着嵌段。间甲酚含量增加时，酚 醛树脂的玻璃化转变温度升高。分子量小而分布比较宽的树脂碱溶性比较好。 在对、间甲酚醛树脂中，增加对甲酚的含量，会使酚醛树脂的溶解性变差毒 7 通过以上的研究，所合成的酚醛树脂在分子量及其分布、耐热性、碱溶性 等方面的性能都达到近紫外光致抗蚀剂成膜树脂的性能。 关键词： 酚醛树脂 分子量缚分子量分布， 耐热性 碱溶性 Abstract Phenolic main innear—ultraviolet was resin，the component photoresist two attained inthis resinwas studied by steps．Weprepared systematically paper．The with and atcertain m— temperature，then，added formaldehyde prepolymerp-cresol the and intothe to final at cresolotherreactants synthesizeproducthigher system at for seriesof resinswereobtaineddifferent time．A definite phenolic temperature conditions．Theeffects timeetalon dosage、catalystdosage、reaction offormaldehyde of resin moleculardistribution themolecularand