化学气相沉积法备钨芯SiC纤维.pdfVIP

摘要 摘要 化学气相沉秋(CVD)制备的SiC纤维具有的高比强、高比模、 耐腐蚀等特点，用SiC纤维增强的复合材料具有优异的性能。国际上 已有商品化的CVD—SiC纤维产品，但由于有很强的军事应用背景， 对我国严格禁运。国内在SiC纤维的研究和应用上还处于初级阶段， 所以开展对CVD—SiC纤维的研究很有必要。 本文在分析两种不同类型CVD法制备钨芯SiC纤维反应器的基 础上，设计了一种制备CVD．SiC纤维的冷壁沉积装置。装置中用镓铟 锌合金取代水银密封沉积室的反应气体，既能达到满意的密封效果， 也能降低有害的挥发物，减少了水银因导电率不足引起的打弧现象。 的沉积速率和致密度均随温度的升高而增加，温度过商时会在钨丝上 形成瘤状、疏松的沉积产物。较低温度下沉积时，反应速率随混合气 体中MTS含量的增大而减小，总沉积速率受表面反应控制：在较高温 度下，反应速率随混合气体中MTS含量的增大丽增大，总沉积速率受 质量传输控制。 采用正交实验优化制各CVD—SiC纤维参数，在本实验条件下较 好的工艺条件为：温度为1570K、沉积时间为5分钟、氯气流量为 序为：沉积温度、沉积时间、氢气流量、氨气流量。 室温F 数随拉伸试样标距的增大而减小。CVD—SiC纤维的强度与其微观形 貌有密切关系，较高强度纤维的表面较为平整光滑，钨丝与碳化硅沉 积层之间结合较好；丽低强度纤维的袭面存在瘤状物，碳化硅沉积层 与钨丝之问结合较差。 纤维中除含有Si、C元素以外，还有氧、铝、钙等其它异质元素， 这些元素会导致纤维中产生缺陷，提高原料的纯度和增加反应器的密 封性可减少这些有害元素。 关键词：化学气相沉积，钨芯SiC纤维，反应器，纤维强度，Weibull 模数 Abstract Abstract BecauseofCVD—SiC modulus，tow fibers’highstrength，high and reinforcedithave densityrefractoryproperties，compositesby excellent havebeencommercialavailableCVD-SiC performance．There fiber to its and productions．duemilitaryaerospaceapplication fiber arean onour products embargo background；CVD—SiC country． and ofitisinthe in itis Developmentapplicant infancydomestic，SO tolaunch research． necessary preparation Onthebasisof twodifferentkindsofthemical comparing vapor newSiCfiber wasset depositionequipments，a preparationapparatusup． new wassubstitutedcadmium／indium／zinc tnthe mercu