新型Ag-IT薄膜的制备、微结构及光电性质表征.pdfVIP

摘要 摘 要 由高反射、高电导的金属材料和透明导电材料构成的透反射式高电导复合薄 膜，因为具有独特的光学和电学性质，对该复合体系开展研究具有重要的理论意 义和实用价值。在液晶显示领域将其作为LCD显示器件的下电极材料，开发出 新型透反射式技术已成为现代LCD显示领域中一项不可或缺的技术。 本文制备了透反射式高电导Ag—ITO系列复合薄膜，从实验上和理论上重点 研究了薄膜的光电特性与薄膜组分及微结构之间的关系，并建立了用效能因子和 分光比共同评价新型透反射式高电导复合薄膜综合品质因素的体系。研究目的在 于探索新的、结构性能优异的透反射式高电导光电功能薄膜材料，推进Ag．ITO 复合薄膜在新型透反射式LCD显示技术中的应用。 本文主要研究内容如下： 1．在透反射式高电导Ag-ITO复合薄膜体系的设计和光电特性的表征中， 会涉及到Ag组分处于低维状态时的微结构和光电特性。所以，专门用直流溅射 技术制备了不同厚度的Ag膜，并用X射线衍射，表面轮廓仪，紫外．可见光分 光光度计和四探针测试仪对不同厚度Ag膜的微结构、膜厚以及光电特性特进行 了研究。 2．用x射线衍射、x射线光电子能谱、表面轮廓仪，紫外．可见光分光光度 计和四探针测试仪研究了热处理前后直流溅射ITO薄膜的微结构、化学组分、 膜厚以及光电特性特。 3．探索了用直流磁控溅射制备透反射式高电导Ag．ITO复合薄膜的方法， 薄膜中，ITO保持In203体心立方的晶体结构不变；随着Ag膜厚度的增加，ITO (222)衍射峰强度逐渐增加，(400)衍射峰强度总体呈下降趋势：Ag仅出现 了衍射角为38。左右的(111)衍射峰。 4．用紫外．可见光分光光度计和四探针测试仪研究了复合薄膜的光电特性。 研究结果表明，Ag膜的微结构和厚度对复合薄膜的光电行为有着重要的影响。 随着Ag膜厚度的增加，Ag从颗粒膜状态向连续膜状态过渡；Ag-ITO薄膜在可 见光范围内的平均透射率和反射率逐渐增大，对可见光的吸收呈逐渐降低趋势； Ag—ITO复合薄膜电阻率呈下降趋势，导电性能增强。特别注意到，当Ag膜厚 新型Ag-ITO复合薄膜的制各、微结构及光电性质表征 度为12．5rim时，Ag．ITO复合薄膜的电阻率比单层ITO薄膜的电阻率下降了一 个数量级。用多光束透反射和并联电阻理论模型对透反射式高电导Ag．ITO复合 薄膜独特的光电行为做出了定性的解释。 5．提出透反射式高电导薄膜效能因子和分光比的概念，并以此为基础．建 立评价Ag．ITO复合薄膜以及一类透反射式导电薄膜品质因素的普适评价标准。 本文的创新点为： ◆ 率先提出采用具有高反射和高电导的金属材料Ag和透明导电材料ITO以 纳米形式复合，形成新型的透反射式高电导Ag-11O复合薄膜，并通过控制Ag 的复合量来控制复合薄膜的光透反射性能和导电性能。并提出将复合薄膜作为 LCD下电极材料，研制开发新型的透反射式LCD显示器件。 ◆ 提出基于透射光谱，利用椭偏解谱软件FilmWizard和非线性回归分析软件 1stOpt，以多光束透反射模型拟合得到薄膜厚度和光学常数的新方法。 ◆ 首次提出透反射式导电薄膜的效能因子和分光比概念，建立用效能因子和 分光比来共同评价Ag．ITO复合薄膜品质因素的标准，并将其应用于一类透反 射式导电薄膜综合品质因素的普适评价。 关键词：Ag-ITO复合薄膜，透反射式LCD，微结构，组分，光电性质，效能 因子，分光比 lI Ab鲥aact Abstract their and Dueto highly photoelectricalproperties，transflective unique reflectiveandconductivemetaland