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ICS 31.030 L90
备案号:
S J
中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准
SJ/T
3228.5—XXXX
代替 SJ
3228.5-1989
电子产品用高纯石英砂 第 5 部分
铁的测
定
High purity arenaceous quartz for used in electronics part 5 determining the content
of iron
(报批稿)
XXXX - XX - XX 发布
XXXX - XX - XX 实施
中 华 人 民 共 和 国 工 业 和 信 息 化 部
发 布
SJ/T 3228.5—XXXX
前言
本系列标准计划分下列部分:
——SJ/T 3228.1 电子产品用高纯石英砂 第1部分 技术条件; ——SJ/T 3228.2 电子产品用高纯石英砂 第2部分 分析方法通则; ——SJ/T 3228.3 电子产品用高纯石英砂 第3部分 灼烧失量的测定; ——SJ/T 3228.4 电子产品用高纯石英砂 第4部分 二氧化硅的测定: ——SJ/T 3228.5 电子产品用高纯石英砂 第5部分 铁的测定; ——SJ/T 3228.6 电子产品用高纯石英砂 第6部分 铜的测定; ——SJ/T 3228.7 电子产品用高纯石英砂 第7部分 铬的测定; ——SJ/T 3228.8 电子产品用高纯石英砂 第8部分 铝的测定; ——SJ/T 3228.10 电子产品用高纯石英砂 第10部分 铅的测定。 本部分为第5部分。
本部分按照GB/T 1.1-2009给出的规则编写。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本部分代替SJ 3228.5-1989。
本部分与SJ 3228.5-1989相比,主要技术内容变化如下: a) 增加了石墨炉原子吸收光谱法;
b) 原“比色法”部分修改了试剂要求;
c) 原“比色法”部分增加了仪器和设备、试验环境和精密度要求; d) 增加了报告要求。
本部分由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)提出并归口。 本部分起草单位:工业和信息化部电子工业标准化研究院、国家硅材料深加工产品质量监督检验中
心、东海县产品质量监督检验所。
本部分主要起草人:许振午、栾振祥、程尚栩、薄雷明、周文梅、冯亚彬、管琪。 本部分所代替标准的历次版本发布情况为:
——SJ 3228.5-1989。
I
SJ/T 3228.5—XXXX
电子产品用高纯石英砂 第 5 部分 铁的测定
1
范围
本部分规定了高纯石英砂中铁含量的测定方法,包括比色法和石墨炉原子吸收光谱法。 本部分适用于高纯石英砂中铁含量的测定。比色法检出限 0.2 mg/kg ;石墨炉原子吸收光谱法检
出限为0.005 mg/kg。
2
规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 602 化学试剂 杂质测定用标准溶液的准备
GB/T 6682 分析实验室用水规格和试验方法
3
测定方法
3.1
比色法
3.1.1 方法原理
三价铁离子与硫氰酸根离子在硝酸介质中生成一种红色络合物进行比色测定。
3.1.2 试剂和材料
检测所需试剂和材料如下:
a) 超纯水:电阻率应≥18MΩ· cm,同时符合 GB/T 6682 中实验室用一级水的要求。 b) 氢氟酸:质量分数≥40.0%,优级纯。
c) 异戊醇:质量分数≥98.5%,分析纯。
d) 硝酸溶液(1+1):由硝酸(质量分数 65.0%~68.0%,优级纯)和超纯水(4.1)按体积比 1:1
配制而成。
e) 硫氰酸铵溶液:质量分数为 20%,由分析纯硫氰酸铵和超纯水(4.1)配制而成; f) 铁标准溶液(0.01mg/mL):按 GB/T 602 的规定配制浓度为 0.1 mg/mL 的铁溶液,然后稀释
至浓度为 0.01mg/mL,供比色用。
3.1.3 仪器和设备
测定所需仪器和设备包括:
1
SJ/T 3228.5—XXXX
a) 分析天平:感量为 0.1mg; b) 电热板:≥120℃;
c) 高压消解罐:内衬为聚四氟乙烯溶样杯; d) 恒温干燥箱: 控温精度为±1℃。
3.1.4 试验环境
试验环境应符合如下条件: a) 温度:20±2℃; b) 相对湿度:45%~65%。
3.1.5 分析步骤
准确称取经110℃烘干后的试样1g,置于高压消解罐内衬中,以水湿润,加氢氟酸
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