SJ_T3328.7-2015电子产品用高纯石英砂第7部分铬的测定.DOCVIP

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ICS 31.030 L90 备案号: S J 中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准 SJ/T 3228.7—XXXX 代替 SJ 3228.7-1989 电子产品用高纯石英砂 第 7 部分 铬的测 定 High purity arenaceous quartz for used in electronics part 7 determining the content of chromium (报批稿) XXXX - XX - XX 发布 XXXX - XX - XX 实施 中 华 人 民 共 和 国 工 业 和 信 息 化 部 发 布 SJ/T 3228.7—XXXX 前言 本系列标准计划分下列部分: ——SJ/T 3228.1 电子产品用高纯石英砂 第1部分 技术条件; ——SJ/T 3228.2 电子产品用高纯石英砂 第2部分 分析方法通则; ——SJ/T 3228.3 电子产品用高纯石英砂 第3部分 灼烧失量的测定; ——SJ/T 3228.4 电子产品用高纯石英砂 第4部分 二氧化硅的测定: ——SJ/T 3228.5 电子产品用高纯石英砂 第5部分 铁的测定; ——SJ/T 3228.6 电子产品用高纯石英砂 第6部分 铜的测定; ——SJ/T 3228.7 电子产品用高纯石英砂 第7部分 铬的测定; ——SJ/T 3228.8 电子产品用高纯石英砂 第8部分 铝的测定; ——SJ/T 3228.10 电子产品用高纯石英砂 第10部分 铅的测定。 本部分为第7部分。 本部分按照GB/T 1.1-2009《标准化工作导则 第1部分:标准的结构和编写》给出的规则编写。 本部分代替SJ 3228.7-1989。 本部分与SJ 3228.7-1989相比,主要技术内容变化如下: a) 增加了石墨炉原子吸收光谱法; b) 原“比色法”部分修改了试剂要求; c) 原“比色法”部分增加了仪器和设备、试验环境和精密度要求; d) 增加了报告要求。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本部分由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)提出并归口。 本部分起草单位:工业和信息化部电子工业标准化研究院、国家硅材料深加工产品质量监督检验中 心、东海县产品质量监督检验所。 本部分主要起草人:许振午、程尚栩、栾振祥、薄雷明、苗雪原、冯亚彬、管琪。 本部分所代替标准的历次版本发布情况为: ——SJ 3228.7-1989。 I SJ/T 3228.7—XXXX 电子产品用高纯石英砂 第 7 部分 铬的测定 1 范围 本部分规定了高纯石英砂中铬含量的测定方法,包括比色法和石墨炉原子吸收光谱法。 本部分适用于高纯石英砂中铬含量的测定。比色法检出限 0.2 mg/kg ;石墨炉原子吸收光谱法检 出限为0.0002 mg/kg。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T 602 化学试剂 杂质测定用标准溶液的准备 GB/T 6682 分析实验室用水规格和试验方法 3 测定方法 3.1 比色法 3.1.1 方法原理 样品经氢氟酸、硫酸处理后,在稀硫酸介质中,以硝酸银催化剂用过硫酸铵将三价铬氧化成六价铬, 六价铬在酸性溶液中与二苯碳酰二肼反应,生成棕红色络合物,借此进行比色测定。 3.1.2 试剂和材料 所需试剂和材料包括: a) 超纯水:电阻率应≥18MΩ· cm,同时符合 GB/T 6682 中实验室用一级水的要求。 b) 氢氟酸:质量分数≥40.0%,优级纯。 c) 过硫酸铵:白色结晶或结晶粉末,质量分数≥98.0%,分析纯。 d) 硫酸溶液(1+1):由硫酸(质量分数 98.0%,优级纯)和超纯水(4.1)按照体积比 1:1 配 制而成。 e) 硝酸银溶液:0.5%; f) 二苯碳酰二肼溶液:0.25%乙醇溶液; g) 铬标准溶液(0.001mg/mL):按 GB/T 602 的规定配制浓度为 0.1mg/mL 的铬溶液,然后稀释至 浓度为 0.001mg/mL,供比色用。 1 SJ/T 3228.7—XXXX 3.1.3 仪器和设备 仪器和设备要求如下: a) 分析天平:感量为 0.1mg; b) 电热板:≥120℃。 c) 高压消解罐:内衬为聚四氟乙烯溶样杯。 d) 恒温干燥箱:控温精度为±1℃。 3.1.4 试验环境 试验环境要求如下: a) 温度:2

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