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ICS 31.030 L90
备案号:
S J
中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准
SJ/T
3228.7—XXXX
代替 SJ
3228.7-1989
电子产品用高纯石英砂 第 7 部分
铬的测
定
High purity arenaceous quartz for used in electronics part 7 determining the content
of chromium
(报批稿)
XXXX - XX - XX 发布
XXXX - XX - XX 实施
中 华 人 民 共 和 国 工 业 和 信 息 化 部
发 布
SJ/T 3228.7—XXXX
前言
本系列标准计划分下列部分:
——SJ/T 3228.1 电子产品用高纯石英砂 第1部分 技术条件; ——SJ/T 3228.2 电子产品用高纯石英砂 第2部分 分析方法通则; ——SJ/T 3228.3 电子产品用高纯石英砂 第3部分 灼烧失量的测定; ——SJ/T 3228.4 电子产品用高纯石英砂 第4部分 二氧化硅的测定: ——SJ/T 3228.5 电子产品用高纯石英砂 第5部分 铁的测定; ——SJ/T 3228.6 电子产品用高纯石英砂 第6部分 铜的测定; ——SJ/T 3228.7 电子产品用高纯石英砂 第7部分 铬的测定; ——SJ/T 3228.8 电子产品用高纯石英砂 第8部分 铝的测定; ——SJ/T 3228.10 电子产品用高纯石英砂 第10部分 铅的测定。 本部分为第7部分。
本部分按照GB/T 1.1-2009《标准化工作导则 第1部分:标准的结构和编写》给出的规则编写。 本部分代替SJ 3228.7-1989。
本部分与SJ 3228.7-1989相比,主要技术内容变化如下: a) 增加了石墨炉原子吸收光谱法;
b) 原“比色法”部分修改了试剂要求;
c) 原“比色法”部分增加了仪器和设备、试验环境和精密度要求; d) 增加了报告要求。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本部分由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)提出并归口。 本部分起草单位:工业和信息化部电子工业标准化研究院、国家硅材料深加工产品质量监督检验中
心、东海县产品质量监督检验所。
本部分主要起草人:许振午、程尚栩、栾振祥、薄雷明、苗雪原、冯亚彬、管琪。 本部分所代替标准的历次版本发布情况为:
——SJ 3228.7-1989。
I
SJ/T 3228.7—XXXX
电子产品用高纯石英砂 第 7 部分 铬的测定
1
范围
本部分规定了高纯石英砂中铬含量的测定方法,包括比色法和石墨炉原子吸收光谱法。 本部分适用于高纯石英砂中铬含量的测定。比色法检出限 0.2 mg/kg ;石墨炉原子吸收光谱法检
出限为0.0002 mg/kg。
2
规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 602 化学试剂 杂质测定用标准溶液的准备
GB/T 6682 分析实验室用水规格和试验方法
3
测定方法
3.1 比色法
3.1.1 方法原理
样品经氢氟酸、硫酸处理后,在稀硫酸介质中,以硝酸银催化剂用过硫酸铵将三价铬氧化成六价铬, 六价铬在酸性溶液中与二苯碳酰二肼反应,生成棕红色络合物,借此进行比色测定。
3.1.2 试剂和材料
所需试剂和材料包括:
a) 超纯水:电阻率应≥18MΩ· cm,同时符合 GB/T 6682 中实验室用一级水的要求。 b) 氢氟酸:质量分数≥40.0%,优级纯。
c) 过硫酸铵:白色结晶或结晶粉末,质量分数≥98.0%,分析纯。
d) 硫酸溶液(1+1):由硫酸(质量分数 98.0%,优级纯)和超纯水(4.1)按照体积比 1:1 配
制而成。
e) 硝酸银溶液:0.5%;
f) 二苯碳酰二肼溶液:0.25%乙醇溶液;
g) 铬标准溶液(0.001mg/mL):按 GB/T 602 的规定配制浓度为 0.1mg/mL 的铬溶液,然后稀释至
浓度为 0.001mg/mL,供比色用。
1
SJ/T 3228.7—XXXX
3.1.3 仪器和设备
仪器和设备要求如下:
a) 分析天平:感量为 0.1mg; b) 电热板:≥120℃。
c) 高压消解罐:内衬为聚四氟乙烯溶样杯。 d) 恒温干燥箱:控温精度为±1℃。
3.1.4 试验环境
试验环境要求如下:
a) 温度:2
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