《一种新型高精度温度补偿的压力传感器》.pdfVIP

传感器技术 。年第 期 ,。。 沪、 一种 型高精度温度 设计与制造 昌 新 补 尽 的 力 偿 压 传感器 凯 王 荣 · 辽宁大学物理系 沈阳市 【 】 绍了 体管的 压 化的 系, 摘要 木文介 根据晶 发射结偏 随温度变 关 来代换扩散硅压力传 用 的 和 。 感器中利 扩散电阻进行温度补偿 原理 优越性 词 , 、 天健 传感器 温度补隆 膜片 一、 前 言 、 目 , 器 是 用 电阻 前 传感 无论 利 扩散 电阻 温 补 , 以 热敏 或是二极管等进行 度 偿 , ‘ 。 然都有一定的效果 但都不够 理 想 ’ ’ 是 压 器, 响而 特别 微 传感 受温度 的影 产生 温度 器 是很 的 漂移对传感 精 度 的影 响 大 。 的, 必须给以足够的重视 合以往 器 温 综 所有 的硅压力传感 的 度 电 , 限, 是结 于 补偿 路 不是精度有 就 构过 于 。 此, 种效 复杂而 利 集成化 为 提出一 不 硅 力 果较好的有源 补 偿 的扩 散 压 传感 “ 。 器 ‘ ’ 是 用温度 晶 这 利 补偿 体管来代 , 温 电阻 器 它 ‘ 『 换传统的 度补偿 的压力传感 把温 补 和 阻 是 度 偿晶体管 力敏桥臂电 等通 巡 ’ ‘ 熟狡 岁岁玉玉 洲产 华 , 口 过平面工艺都集成在硅弹性膜片上 故也