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产品解决方案 产品名称： SJ00激光干涉仪 联 系 人： 联系电话：0755 公司地址： 公司网址： 深圳市中图仪器科技有限公司目录 - 2 - 1. 简介 - 1 - 1.1. 公司简介 - 1 - 1.2. 产品简介 - 1 - 2. 静态测量 - 3 - 2.1. 线性测量 - 3 - 2.2. 角度测量 - 7 - 2.3. 直线度测量 - 9 - 2.4. 垂直度测量 - 11 - 2.5. 平面度测量 - 12 - 2.6. 回转轴测量 - 13 - 3. 动态测量 - 15 - 3.1. 基于时间的动态测量 - 15 - 3.2. 基于距离的动态测量 - 15 - 3.3. 动态测量分析 - 16 - 4. 功能特点 - 18 - 4.1. 产品功能特点 - 18 - 4.2. 分析标准配置 - 18 - 5. 技术指标 - 20 - 5.1. 技术指标 - 20 - 5.2. 尺寸重量与供电 - 21 - 6. 系统组件 - 22 - 6.1. 系统组件 - 22 - 简介 公司简介 深圳市中图仪器科技有限公司是国家级高新技术企业和软件企业，致力于精密计量、检测仪器设备的研发、生产和销售。 公司销售和服务网络遍及国内三十多个省、市、自治区，并与国内许多知名企业、科研院所长期保持着密切的合作关系。 目前，中图仪器拥有数十种完全自主开发的新技术产品，并具有50多项专利技术和软件著作权，广泛应用于国家法定计量质量检测机构、航空航天、国防军工、电力、石化、冶金、机械、电子、光学、医学等行业的实验室。大多数产品达到国际水平，部分产品处于国际领先的位置，打破了高端检定仪器一直以来被西方发达国家垄断的局面。中图仪器参与了一些制定产品检定国家标准的工作，为国家做出了应有的贡献。 中图仪器，专注于精密计量仪器和自动检测设备的创新发展，集光、机、电、信息技术于一体，用现代化的技术手段大幅提高测量效率和精度，力图中国仪器技术之进步。 产品简介 激光干涉仪是以光波为载体，以光波波长为单位的一种计量测试方法，是公认的高精度、高灵敏度的检测手段，在高端制造领域应用广泛。 SJ6000激光干涉仪产品采用进口、、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。产品具有精度高、、等优点 SJ6000全套系统： 线性测量 要对线性测量进行设定，使用随附的两个外加螺丝将其中的一个线性反射镜安装在分光镜上。这个组合装置称为“线性干涉镜”，它形成激光光束的参考光路。线性干涉镜放置在激光头和线性反射镜之间的光路上，如下图所示。 线性测量的应用 线性轴测量与分析 中图仪器为多种机床控制器提供了机床误差自动补偿软件包。控制器制造商提供了一种功能，允许您通过指定每个机床轴的补偿值来消除机床定位系统中的任何误差。线性及回转定位误差都可以进行补偿。通过进行补偿，您可以将误差降低到几乎为零的程度，显著提高了机器精度。这是一个完美的设想，但必须知道要获得误差补偿值，您必须首先在轴上的不同点测量移动工件的预期位置和实际位置之间的微小差异。幸运的是，已经有了一个解决方案：中图仪器激光干涉仪系统和定位误差补偿软件包配合使用。需要测量的误差可能被认为很小，即微米左右，然而这种误差在一个轴上的累计结果可能会相当大。使用激光干涉仪测量这些误差，并用补偿软件进行记录，可以轻松获取在轴上多点测量的误差表。这些误差能够被转译成补偿值，控制器可在移动工件沿轴移动时使用这些补偿值。中图仪器定位误差补偿软件作为标准校准软件提供。软件提供“循序渐进”的用户界面，指导您完成误差补偿的各个步骤。 高精度传感器校准 只需要【线性测量光学镜组】。 用于精密透镜测量（直径）的极坐标测量系统 需要【线性测量光学镜组】和【固定90度转向镜】。 平面镜干涉测量法 面干涉镜使用平面镜而不是角锥反射镜返回测量光束测量线性位移。平面镜的优势在于比中图仪器标准角锥反射镜重量轻，这就使得平面干涉镜适合于振动分析的应用场合。另外，它允许测量光学镜组沿与测量方向成90度方向移动，因此非常适合测量XY坐标工作台。 小型光学镜组件 对于光学镜重量或尺寸可能影响机器动态性能或光学镜安装遇到困难的应用场合，中图仪器还提供小型光学镜组件，最大限度降低重量对机器动态性能的影响。详见下图： 角度测量 与线性测量原理一样，角度测量需要角度干涉镜和角度反射镜，并且角度反射镜和角度干涉镜必须有一个相对旋转。相对旋转后，会导致角度测量的两束光的光程差发生变化，而光程差的变化会被SJ6000激光干涉仪探测器探测出来，由软件将线性位置的变化转换为角度的变化显示出来。 水平轴 垂直轴 角度测量的