自动阻抗匹配器驱动程序设计及其匹配算法的研究.pdfVIP

摘要 摘要 射频耦合系统在工业和医疗领域有着广泛地应用，其中射频耦合等离子体 设备系统是生产大规模集成电路、液晶屏等产品中关键工艺的主流设备，而影 响设备系统性能的关键部件就是阻抗匹配器。增强阻抗匹配器的自动调节功能 和匹配精度，并保证整个设备系统工作在稳定的状态，是最终保证产品生产质 量和效率的重要因素。针对国内无自动阻抗匹配器的现状，具体开展提高自动 阻抗匹配器功能及性能的研究开发工作，具有非常现实的社会意义和应用价值。 本论文基于已有的自动阻抗匹配系统硬件平台开展研究，主要进行了以下 几个方面的工作： 1． 为基于ARM核心的的自动阻抗匹配器系统的电容调节、反射系数 采集、人机接口三大功能模块编写驱动程序。设计了电容位置检测 和电机驱动调节程序，实现对电容参数的开环调节以及基于数字 PID的闭环调节；完成了反射系数采集模块的模拟、数字滤波器设 计和快速采集处理实现；为人机接口设计了基于中断和队列的按键 查询和处理机制，实现了彩色LCD显示功能。 2． 针对梯度下降搜索算法在自动阻抗匹配系统中使用时存在收敛速