GaAs%2fGaAlAs高速光开关%2f调制器的研究.pdf

密集波分复用(DWDM)技术已成为卜．一代光网络的基础，并将在宽带城域网(MAN)，局 器件，其性能的优劣成为决定光网络性能的关键。因此，需要研究新材料、提出新机理、开 发新工艺．以进一步完善器件性能、降低成本、提高器件集成度。GaAs／GaAlAs半导体材 料具有良好的电．光性能，更易于实现各种光子器件的单片集成，不易受直流(Dc)漂移及光 损伤的影响，是制作单片光子器件的理想材料。本文围绕GaAs／GaAIAs高速OS／M展开工 作，以OS／M的理论分析、优化设计、样品制作及相关测试工作为主要研究内容。 第一章首先简要回顾了DWDM光网络及其关键光予器件的发展历程，全面介绍了 OS／M的工作机理、主要分类及国内外研究现状，描述了OS／M的主要性能指标，综述并评 价了模拟分析OS／M光波特性的主要理论方法，总结了OS／M的主要制作工艺。 第二章建立了模拟分析OSfM光波特性的数理模型。包括基于伽辽金法(GM)及变量变 换GM(VTGM)光波导标量，矢量本征值分析数理模型，分析了矩形光波导、脊形光波导和耦 合光波导的标量，矢量本征值问题，获得了本征模的模场分布及其有效折射率；基于VTGM 的标蹙／矢量三维束传播法(3D-VGTM-BPM)数理模型，分析了直脊形光波导，劈形过渡器及 定向耦合器的光波导传输特性。 第三章