RF+MEMS开关及在移相器中的应用的研究.pdf

RF MEMS开关及其在移相器中的应用研究 摘要 射频微电子机械系统(RF MEMS)技术在现代通信领域中越来越受到重视。 MEMS技术以其自身特性，可以避免传统PIN开关和场效应开关在射频系统中 的严重缺陷，和现代高密集型系统的设计相匹配，具有功耗小、射频性能优越、 易集成等优点。因此研究RFMEMS开关及其应用有非常重要的现实意义。 本文首先简要地介绍了国内外RFMEMS开关、MEMS移相器的发展概况。 接着详细地比较了MEMS开关各种常见的静电、电磁、电热、压电和形状记忆 金属驱动机制。建立了欧姆接触式和电容耦合式RFMEMS开关的力学模型和 电磁模型，其中包括悬臂梁和固支梁开关的弹性系数、下拉电压、电容和阻抗。 MEMS开关搭建一个准 通过模型优化开关设计，并用设计好的电容耦合式RF 4位分布式MEMS传输线移相器。此分布式移相器可以工作在40GHz频段内，