光纤定位硅V型槽的设计和制作.pdfVIP

摘 要 通过光纤把外部光源引入soI集成光路时，为减少偶然因素对耦 合效率的影响．需解决光纤定位问题，以及为提高多通道波导型器件、 半导体激光器阵列、光开关阵列等与圯纤的耦合效率问题，作者利用 单晶硅材料，设计并制作出具有高精度光纤定位功能的硅V型槽及其 阵列。 本文围绕硅V型槽的设计和制作．从理论上详细分析了单模光 纤与脊形波导的模式特点，得出最佳的耦合条件，在此基础上设计 出最合适的硅V型槽结构。在实践上．对制作工艺积极探索，提出 新的制备硅掩蔽膜的工艺方案，对影响光刻质量的因素深入分析， 试验摸索出适用于V型槽的各向异性湿法腐蚀的腐蚀液配方，独立 优化设计了制作硅V型槽的相关3-艺，制作出高质量的硅V型槽。 并展示了它广阔的应用前景和科研产。％的开发价值。 关键词：光纤定位， V型槽， 掩蔽膜， 各向是。缈蚀 ABSTRACT ihe and Inthis is oll emphasisput design paper，an weuseis fabrication material arrays．The of～一groove Silicon stlucturecan V—groove provide monocrystallim·silicon． with orientation．Sothe abouthow fiber highprecision problems tomake intoS01 and betweenmultichannel light efficientlycoupling andfiberscanbesolved． devices waveguide The mode of fiberand coupledtheorysingle—moderidge best hasbeendescribedand the waveguide analyzed，andcoupling a iS onthecondition，theauthormakes conditionobtained．Based reasonable ordertomake of with theory program．In integration lot havebeen of done．Mask—making practice，aexperiments