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第2章 精密超精密加工技术概论Introduction of Precision Ultra precision Machining Technology 常用单位 1 m= 103 mm 1 mm=103 μm（微米） 1 μm= 103 nm（纳米） 1 nm= 10 ?（埃） 1 ?=10-1 nm＝10-4μm＝10-7 mm＝10-10m 亚微米（1~10-2μm） 注：正常人头发直径约为 50~70 μm 2.1 精密加工技术的概念 超精密加工的含义 就“加工”这个词而言，应理解为一个很广泛的概念。超精密加工包含两个含义： 一是指向传统加工方法不易达到的精度界限挑战的加工，即高精度加工，如计算机磁盘及各种金属反射镜的超精密镜面加工； 二是向实现微细尺寸界限挑战的加工，即所谓微细加工技术（Micro-fabrication），如微电子电路制造中的电子束、光子束和离子束刻蚀加工以及离子注入、分子外延等工艺技术。 超精密加工的含义 就“精密”这个词而言，应作如下理解： 它是与生产力发展水平相关联的； 精密是相对的，在不同的历史时期，各有不同的理解； 精密超精密加工不仅涉及精度指标，还必须考虑到工件的形状特点和材料等因素。 精密、超精密加工的概念（1） 在所处的时代里，用一般的技术水平，即可以实现的精度称为普通加工。 必须用较高精度的