微细铣削工艺基础和实验的分析.pdf

Classified Index: TG501.1 U.D.C: 621.94 Dissertation for the Doctoral Degree in Engineering PROCESSING FOUNDATION AND EXPERIMENTS IN MICRO-MILLING Candidate ： Zhao Yan Supervisor： Prof. Liang Yingchun Academic Degree Applied for ： Doctor of Engineering Speciality： Mechanical Manufacturing and Automation Affiliation ： School of Mechatronics Engineering Date of Defence ： September, 2008 Degree-Conferring-Institution ： Harbin Institute of Technology 摘要 摘要 在微小零件日益广泛应用的今天，各领域对微小型零件的需求越来越多 样化，以微机电系统（Micro-Electro-Mechanical System ，MEMS ）为代表的 硅基材料微细加工技术逐渐因为可加工材料单一，可加工几何形状简单而显 示出不足。利用微细切削特别是微细铣削技术加工微小零件是一个有潜力的 发展方向。在微小型机床上进行微细铣削加工具有成本低、柔性强的特点， 尤其适合于加工多种工程材料以及带有复杂曲面的三维微结构。在微细铣削 中每齿进给量与刀具切削刃直径之比要高于常规铣削，而背吃刀量与切削刃 钝圆半径在同一量级甚至更小，背吃刀量的微小变化都会带来单位切削力 的显著变化，鉴于此类微细铣削中的特性问题，本文在系统分析国内外有关 微细切削加工装备及相关切削机理研究的基础上，对微细铣削的残余应力检 测、表面粗糙度预报、切削力建模及超细晶粒硬质合金微刀具的磨损机理等 关键技术进行了深入研究。 残余应力引起的任何微量变形都会对微型零件的工作性能产生重要影 响，甚至直接导致其失效。由于受到特征尺寸的限制， 目前的测试手段在对 微型零件加工后的残余应力表征方面还存在一定的困难。本文首先在自主研 制的精密微型铣床上制备出了 3J21 恒弹性合金薄膜微槽结构，此微结构可 用于某关键国防武器的导航部件之中。然后将 MEMS 技术中研究硅基薄膜 力学特性的微桥法引入金属微细切削领域，基于纳米压痕及弹性力学薄板理 论建立 3J21 恒弹性合金薄膜微槽结构加载下的力学模型，得到此微结构底 部极薄部分的杨氏模量为 56.05±3.96Gpa ，残余应力为拉应力，其值为 189.4±3.61MPa。 表面粗糙度是衡量已加工表面质量的主要指标之一，当前研究中对微细 铣削表面质量控制的关注不足。文中利用响应曲面法（Regress Surface Method ，RSM ）进行多元非线性回归，建立了表面粗糙度的预报模型，方 差分析显示此模型可以在 97.5% 的置信水平上反映表面粗糙度与输入参量之 间的相关性。以表面粗糙度为目标，以各切削参量的输入水平为约束，利用 序列二次规划方法得到了微细铣削的最佳切削参量组合，实际加工后检测结 果与理论最优解之间误差 8.1% ，证明了优化组合的正确性。利用析因设计 分析