MOCVD温度控制系统研析.pdfVIP

IIlll11111IllIIIIIIIIIIIllll lJlllIIf 5 摘要 MOCVD(金属有机化合物化学气象积淀)[4】，是第三代半导体材料GaN生 长技术。反应室温度是决定MOCVD系统外延材料生长质量的关键因素。本文 的主要工作就是设计出一套MOCVD设备专用的温度控制系统，重点对温控器、 加热系统中的加热器及加热电源进行分析研究。 论文首先简要介绍了MOCVD温度控制的控制方案、控制对象、控制特点 等。其次，本文设计了温度控制器的硬件，以高性能单片机PICl8F87J72微控 制器芯片为核心元件，该温度控制硬件系统能实现数据采集、数据转换和处理、 多段PID控制算法、现场CAN总线通信和键盘终端处理及显示功能。总体设计 以简约和节约经济成本为出发点，尽量选用高性芯片能节约设计成本，在稳定 性、精度和易实现程度等方面都有着突出的特点。再次，论文在硬件设计基础 上完成了温度控制器的软件设计，其中包括A／D模块子程序、D／A模块子程序、 总线通信程序，显示与按键子程序，并对整个硬、软件系统进行了仿真调试。 温度控制器采用多段式PID控制离散算法，该算法具有PID控制器的动态监测 品质和稳态精确度，达到了上升时间快，超调小的要求。 本文的最后还对MOCVD加热系统进行了研究和设计，选取了符合系统要 求的加热电源，并对整个温度控制系统进行模拟和试验，结果显示控制效果良 好。 关健词：MOCVD；温度控制器；PICl8F87J72；PID控制；加热系统； ABSTRACT ABS’IRACT bird ofnovel generation semiconductorGaN action isthe factorsof growthtechnique．Theretemperaturekey MOCVD of matefiah．Theofthis is system epitaxial qualitygrowth emphasispaper to asetofMOCVD forthe control design equipmenttemperaturesystem，including the ofheaterand analysis heatingpowerthermostat，heatingsystem． This introducesthecontrol control scheme，MOCVD object， paper temperature control a controller etc．Secondly，thisdesignedtemperature hardware， paper as 1 mic