高真空单辊旋淬电弧熔炼系统安全操作规程(6页).docVIP

高真空单辊旋淬电弧熔炼系统安全操作规程 一、熔炼操作程序 1．?通? 水：?检查真空室、电弧枪、坩锅的进、出水阀门确认为“开”的状态，打开电弧炉、吸铸这一侧的总水闸，接上水泵电源，水泵运转，看水循环是否正常。(2．?通? 电：?打开总控电源。(3．?装样品：1）?打开真空室进气阀V1，空气充入熔炼室；2）?待气压表回零后，升起炉盖；3）?用酒精将炉内壁擦干净；4）?酒精蒸发干后将配好样品放入1＃、2＃、3＃坩锅内,样品需与坩埚接触好（易挥发的稀土金属放在下面）。中间坩锅放入纯金属锆或钛（纯化炉内气体）；（铁）5）?小心逐渐降下炉盖，检查炉盖是否盖好，注意升降机构支架要留有缝隙，缝隙要大于1厘米）。4．?抽真空：1）?检查进气阀V1、吸铸腔抽气阀V3、氩气阀V2、闸板阀G1和G2都应为关闭状态；2）?开机械泵，逐渐打开旁抽气阀V4；3）?待压力表达到－0.1Mpa（两分钟左右），打开熔炼室真空计电源；4）?待真空度达到10Pa以下（通常可到1.5Pa）后关闭旁抽气阀V4，打开前级阀。5）?打开分子泵电源，按下“FUNC/DATE”键数字显示回零后，按下“START”键启动分子泵，分子泵运转正常后，打开闸板阀G1；6）?待抽到实验需要真空度（通常需要E－4Pa，极限可达6.6 E－5Pa），迅速关闭熔炼真空计电源,关闭闸板阀G1，按下分子STOP键。7