最新人造金刚石.ppt

人造金刚石的特性及其应用 姓 名：熊 梅 学 号：201302703081 研究背景 人造金刚石的主要制备方法 人造金刚石的特性及应用 人造金刚石的未来发展 研究背景 1954年Hall.H.T利用Belt式装置在石墨中添加陨流铁成功的制出了第一颗人造金刚石。 人造金刚石主要制备方法 高温高压法（HTHP法） 化学气相沉积法（CVD法） 爆炸法 金刚石是世界上所有物质中热导率最高的物质。用金刚石作为传热或散热材料具有最好的性能。比如金刚石薄膜，它可以在硅、锗等多种材料上沉积，制作为高导热高绝缘的热沉膜层，可大幅度提高集成电路的功率。此外，在半导体激光器件和高频震荡器件中，为了使器件本身产生的热量迅速发散，也可以采用金刚石材料迅速发散热量。 金刚石由于其极好的化学稳定性，能耐各种温度下的非氧化性酸。金刚石的成分是碳，不具有毒性，对本身含有大量碳元素的人体不起排异反应，加上它的化学惰性，又与血液和其它流体不起反应，因此，它被作为理想的医学生物体植入材料，也可作为医学上手术中使用的刀具。由于其外观非常精美，亦可用作首饰。 * * 1961年，Decali, Jamieson等人在30GPa的压力下首次成功利用爆炸法合成了金刚石。 1962年，Bundy.F.P又在3000-4000K温度和12GPa压力条件下实现了无催化剂存在时的石墨向金刚石的转变。 1966年 ，Hall.H.T等人研制成功Mega的大颗粒宝石级人造金刚石，掀起了宝石级人造金刚石的热潮。 20世纪80年代以后，又进入了对人造金刚石薄膜研究的高潮。 图1 碳的P-T 相图 HTHP法是模拟自然过程，是让石墨在高温高压的环境下转变成金刚石的过程。根据相图可知存在石墨和金刚石两相，其中石墨是低压稳定相，金刚石是高压稳定相。由石墨直接向金刚石转变所需要的压力和温度条件都很高，一般需要10GPa、3000℃以上的压力和温度。HTHP法一般用于合成小颗粒的大单晶金刚石，目前合成样品的尺寸一般在0.05~0.5mm之间。 如果在有金属触媒的参与下(如Fe、Ni、Mn、Co 等以及它们的合金)， 石墨相变为金刚石所需要的条件将大大降低。 HTHP法 CVD法 化学气相沉积是通过含有薄膜元素的挥发性化合物与其它气相物质的化学反应产生挥发性的固相物质并使之以原子态沉积在置于适当位置的衬底上，从而形成所要求的材料。 CVD法主要用于制备金刚石薄膜。与HTHP法相比，CVD法大大降低了生产成本。 反应气体在高温下被分解，生成碳氢自由基，烃类分子和原子氢，气体组 分在气流的导向下，在沉积基体表面发生气-固相反应，生成金刚石薄膜。 爆炸法 这种金刚石的制备方法与传统的石墨相变法不一样，它是以负氧平衡的含碳炸药为原料（如三硝基甲苯，TNT），在爆轰时由于炸药分子中的氧不足以将全部碳氧化成为CO或CO2，因此爆轰区内存在有游离碳，在爆轰区高压和高温的作用下，这种游离碳可以部分的转化成金刚石 。 形成机理 一般认为，在足够高的压力和温度下，有机炸药分子可以完全解离成为碳原子或原子团，它们在高压下就可以相互结合成金刚石晶粒。由于爆轰产物的高压持续时间很短（只有若干微秒），再加上物质在高压下扩散受到阻碍，因而金刚石晶粒无法长成大的完整晶粒。由于这种金刚石颗粒是由碳原子生成的，因而它们倾向于生成圆球形颗粒以保持较低的表面表面能。5nm左右的颗粒的表面能最低也最稳定。 1）力学性能 人造金刚石的特性及应用 高硬度 高热 传导率 高耐 磨性 高化学 稳定性 低膨 胀率 低摩 擦系数 切削工具 散热快 + 宇航高速旋转的特殊轴承 透光性 + 军用导弹的整流罩材料 2）电学性能 宽带隙 高击 穿电压 高电子 空穴密度 高空穴 迁移率 高电子 饱和速度 小相对 介电常数 半导体电子材料 3）热学性能 4）其它优异性能 人造金刚石的发展趋势 人造金刚石在新兴行业领域内的应用有望进一步拓展 　　 随着人造金刚石品级的不断提升，其优良的性能有望在高新技术领域得到更广泛的应用，如： 可用于航空仪表轴承、雷达波导管、光学器件、高能烟速器等精密仪器的加工； 可用于单晶硅、0.1～0.2mm厚多晶硅片的切割、磨削、卫星太阳能电池板等高效精密加工； 可用于计算机芯片等大规模集成电路的微细精密切割、开槽、背面减薄、纳米金刚石抛光等加工； 高纯大单晶金刚石也可以制作用于动力压缩试验的高强度光学窗