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学年论文 （本科） 学 院 物理电子工程学院 专 业 物理学 年 级 2007级 姓 名 孙红义 论文题目 原子力显微镜原理及应用 指导教师 职称 成 绩 2009年 5月 19 日 目 录 摘要…………………………………………………………………………3 关键词………………………………………………………………………3 Abstract……………………………………………………………………3 Key word………………………………………………………………… 3 1 引言…………………………………………………………………… 3 2 原子力显微镜基本原理……………………………………………4 3 原子力显微镜的三种工作模式………………………………… 5 4．原子力显微镜的结构及数据采集方法 ……………………………5 4．1探针 …………………………………………………6 4．2 微悬臂形变量的两种数据采集法…………………………………………7 5．原子力显微镜的应用…………………………………………………… 参考文献……………………………………………………………………7 量纲分析法及其应用 学 生：孙红义 学号：20074050082 单 位：物理电子工程学院 专业：物理学专业 指导教师： 职称： 摘 要：量纲分析法为物理研究提供了很大的方便，本文在量纲分析原理的基础上重点探讨了其在方程构建、结果检验方面的应用。 关键词：原子力；探针；微悬臂；检验 Dimension Analysis and its Application Abstract: when we research physics ,dimension analysis brings us much Convenient. In th is article I, on the basic theory of Dimension Analysis, disscused the using of dimension analysis in building equations and examing resualts Key word: dimension；dimension analysis；construction equation； examination 1引言 近代科学的发展迫切需要一种工具，显微技术快速发展，科学研究及材料发展也随着新的显微技术的发明，而推至前所未有的微小世界。1982年Binning与Roher等人共同发明扫描穿隧显微镜(scanning tunneling microscope, STM)[1]，人类在探讨原子尺度的欲望上，更向前跨出了一大步，对于材料表面现象的研究也能更加的深入了解，在这之前，能直接看到原子尺寸的仪器只有场离子显微镜(Field ion microscopy, FIM)与电子显微镜(Electron microscope, EM)。但碍于试片制备条件及操作环境的限制，对于原子尺寸的研究极为有限，而STM的发明则克服了这些问题。由于，STM其原理主要是利用电子穿隧的效应来得到原子影像，材料须具备导电性，应用上有所限制，而在1986年Binning等人利用此探针的观念又发展出原子力显微镜(Atomic force microscope, AFM) [2]，AFM不但具有原子尺寸解析的能力，亦解决了STM在导体上的限制，应用上更为方便”[3]. 2 原子力显微镜成像基本原理 其原理是基于原子与原子之间的相互作用力。如图 2.1，将一个对力极其敏感的弹性微悬臂一端固定，当另一端结合的探针针尖在Z向逼近样品表面时，探针针尖的原子与样品原子之间将产生一定的作用力，即原子力，其大小约在10－12～10－9N 之间。在扫描时控制原子力恒定，使带有针尖的微悬臂对应于针尖与样品表面原子间作用力的等位面而在垂直于样品的表面方向起伏运动。然后通过测得微悬臂对应于扫描