MPCVD法合成单晶金刚石的研究及应用进展.pdfVIP

第２１卷　第３期 真空与低温 　 ２０１５年６月 Ｖａｃｕｕｍ＆Ｃｒｙｏｇｅｎｉｃｓ １３１  ＭＰＣＶＤ法合成单晶金刚石的研究及应用进展 阳　硕，满卫东，赵彦君，何　莲，肖　雄 （武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室，湖北　武汉　４３００７３） 摘要：单晶金刚石因其优异的物理化学性质，使其成为高新技术领域最有潜力的材料之一。本文首先对 ＣＶＤ （化学气相沉积）法制备单晶金刚石进行了简介，然后对ＭＰＣＶＤ（微波等离子体化学气相沉积）制备单晶金刚石过程 中衬底选择、预处理、沉积参数等进行了详细评述，最后对 ＭＰＣＶＤ单晶金刚石在超精密加工、光学领域、粒子探测 器、高温半导体及电子器件等方面的应用进行了介绍，并对未来单晶金刚石的发展作出了展望。 关键词：单晶金刚石；微波等离子体化学气相沉积（ＭＰＣＶＤ）；高技术应用 中图分类号：Ｏ７８１，Ｏ４８４　　　　　　文献标志码：Ａ　　　　　 文章编号：１００６－７０８６（２０１５）０３－０１３１－０８ ＤＩＯ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００６－７０８６．２０１５．０３．００２ ＰＲＯＧＲＥＳＳＡＮＤＡＰＰＬＩＣＡＴＩＯＮＳＯＦＳＩＮＧＬＥＣＲＹＳＴＡＬＤＩＡＭＯＮＤＳＹＮＴＨＥＳＩＺＥＤ ＢＹＭＰＣＶＤ ＹＡＮＧＳｈｕｏ，ＭＡＮＷｅｉｄｏｎｇ，ＺＨＡＯＹａｎｊｕｎ，ＨＥＬｉａｎ，ＸＩＡＯＸｉｏｎｇ （ＰｒｏｖｉｎｃｉａｌＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＰｌａｓｍａＣｈｅｍｉｓｔｒｙａｎｄＡｄｖａｎｃｅｄＭａｔｅｒｉａｌｓ， ＷｕｈａｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｗｕｈａｎ　４３００７３，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｓｉｎｇｌｅｃｒｙｓｔａｌｄｉａｍｏｎｄｉｓｏｎｅｏｆｔｈｅｍｏｓｔｐｏｔｅｎｔｉａｌｍａｔｅｒｉａｌｓｉｎｔｈｅｈｉｇｈｔｅｃｈｆｉｅｌｄｓｄｕｅｔｏｉｔｓｓｕｐｅｒｉｏｒｐｈｙｓｉ ｃａｌａｎｄｃｈｅｍｉｃａｌｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ．Ｆｉｒｓｔｌｙ，ｔｈｅｇｒｏｗｔｈｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓｏｆＣＶＤｓｉｎｇｌｅｃｒｙｓｔａｌｄｉａｍｏｎｄａｒｅｇｅｎｅｒａｌｌｙｅｘｐｌａｉｎｅｄ，Ｔｈｅｎａ ｐａｒｔｉｃｕｌａｒｄｉｓｃｕｓｓｉｏｎｗａｓｍａｄｅｏｎｔｈｅｐｒｏｃｅｓｓｏｆＭＰＣＶＤｓｉｎｇｌｅｃｒｙｓｔａｌｄｉａｍｏｎｄｓｕｃｈａｓｔｈｅｓｕｂｓｔｒａｔｅｓｅｌｅｃｔｉｏｎ，ｐｒｅｔｒｅａｔｍｅｎｔ ａｎｄｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎｐａｒａｍｅｔｅｒｓ．Ｆｉｎａｌｌｙｔｈｅｕｌｔｒａｐｒｅｃｉｓｉｏｎｃｕｔｔｉｎｇｔｏｏｌｓ，ｏｐｔｉｃａｌｆｉｅｌｄ，ｐａｒｔｉｃｌｅｄｅｔｅｃｔｏｒｓ，ｈｉｇｈｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｓｅｍｉ ｃｏｎｄｕｃｔｏｒａｎｄｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｄｅｖｉｃｅｓｈａｖｅｂｅｅｎｉｎｔｒｏｄｕｃｅｄ，ｔｈｅｐｒｏｓｐｅｃｔｓｏｆｓｉｎｇｌｅｃｒｙｓｔａｌｄｉａｍｏｎｄｗｅｒｅａｌｓｏｐｒｏｐｏｓｅｄ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｓｉｎｇｌｅｃｒｙｓｔａｌｄｉａｍｏｎｄ；ＭＰＣＶＤ；ｈｉｇｈｔｅｃｈａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ ［６］ 广泛的工业应用以及商业前景 。 ０　引言 单晶金刚石的人工合成方法一般分为两类：高 金刚石具备许多优异的物理化学性能，如：高的 温高压法（ＨｉｇｈＴｅｍｐｅｒａｔｕｒｅＨｉｇｈＰｒｅｓｓｕｒｅ，ＨＴＨＰ）， 硬度、高的热导率、高化学稳定性、高光学透过性、极 化学气相沉积法（