一种新型表面涂层及其应用.pdfVIP

第 33卷第2期 丢集溅越路通：讯若 VD1．33 No．2 2015年6月 JlCHENGDlANLU TONGXUN Jun．2015 一 种新型表面涂层及其应用 周峻霖 尤广为 凌尧 卢剑寒 姚道俊 (北方通用电子集团有限公司微 电子部 蚌埠 233042) 摘 要：Parylene是一种性能优异的高聚合物材料，可沉积到金属、玻璃、树脂、塑料、陶瓷等各种形 状材料的表面。针对表面工程技术发展趋势，阐述了Paolene涂层性能、沉积工艺及应用领域，并综合 比较其与环氧树脂、有机硅树脂、聚氨酯涂层性能的异同，事实证明Parylene可用于HIC电路表面涂层， 保证电路表面可靠性。 关键词：Parylene；气相沉积；涂层 ；HIC电路 防护一直是一个难点，功率及高频 HIC部件要求 l 引 言 防护涂层不影响或者少影响其在大功率及微波范 表面工程技术是通过物理、化学或机械 的方 围的工作性能，而现有的环氧、聚氨酯、丙烯酸酯、 法，改变固体金属表面或非金属表面的形态、成分 有机硅等敷形涂层对使用影响都比较大、保护效 和组织结构，以获得所需要表面性能的系统技术。 果不够理想，客观上需要使用新型涂层材料进行 表面工程是个涉及面极其广泛的综合性边缘学 保护，如Parylene敷形涂层材料。 科 ．它的发展不仅在学术上丰富了材料科学、冶金 2 Parylene涂层材料 学、机械学、电子学、物理学、化学、摩擦学等基础 学科 ，也开辟 了新的研究领域。表面工程的最大 2．1 涂层性能 优势是能够以多种方法制备出优于本体材料性能 Parylene是一种新型敷形涂层材料，用独特 的表面功能薄层，其厚度一般为几微米到几毫米， 的真空气相沉积工艺制备，由活性小分子在基材 仅为结构尺寸的几百分之一到几十分之一，却使 表面 “生长”出完全敷形的聚合物薄膜涂层，它能 零件具有了比本体材料更高的耐磨性、抗腐蚀性 涂敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱边，裂缝和 和耐高温等能力，采用表面工程技术的平均效益 内表面，该涂层厚度均匀、致密无针孑L、透明无应 高达数倍甚至数十倍。 力、不含助剂、不损伤工件、有优异的电绝缘性和 集成电路的失效，如，疲劳、磨损、腐蚀、氧化、 防护性，是最有效的防潮 、防霉、防盐雾以及高频 烧损以及辐射损伤等，一般都是从表面开始的，表 部件防护涂层材料，因此可有效地用于功率、高频 面的局部损坏又很快造成整个组件失效，最终导 HIC的表面涂层保护。由于Parylene能提高引线 致系统整机故障。由表面失效带来的电路破坏和 及焊点的结合强度 ，消除表面的水份、金属离子和 损失是惊人的，特别对于国防和航空航天领域的 其它微粒污染，很高的性能／体积比引起了军用、 影响 日益引起各方专家重视 。 航空、航天高密集度小型化产品界的极大兴趣。 当今军事电子设备的发展趋势向小体积、大 Parylene是聚对二甲苯的统称，目前已经商 功率、高集成、高可靠方向发展，为保证其能在恶 业化且应用较为广泛的包括ParyleneC(1CI取代 劣的环境下正常工作，采取必要的防护手段显得 基)、ParyleneD(2C1取代基)和ParyleneN(无取 非常重要。军事 电子装备中功率及高频 HIC的 代基)。由