扫描电子显微镜 2要点.pptVIP

第四章 扫描电子显微镜 （Scanning Electron Microscopy SEM） 1942年 第一台扫描电子显微镜 60年代 分辨率和图像质量的大大的改善 80年代 广泛应用于医学、生物学等领域 90年代 高分辨型扫描电镜的分辨率0.2nm 扫描电镜与透射电镜结构比较 1 照明系统结构和原理基本相同 都是由电子枪和聚光镜等来完成照明工作 2 SEM 没有中间镜和投影镜，但增加了 二次电子探测器、扫描偏转线圈、显像管等 3 SEM 样品室比 TEM 大，位置不同 4 SEM 与 TEM 真空系统、水冷系统和电源系统 的结构和功能基本相似。 ●如细菌、血细胞、培养细胞的整体形态、大 小、表面突起和细胞间的相互关系 ●消化道、血管等空腔组织的表面结构 ●骨等硬组织形貌以及生物材料的形状结构等 景深长，视野广、图像富有立体感 用于观察组织细胞的表面和断面的形貌 扫描电镜特点 电子枪和透镜： 电子枪产生电子经透镜会聚成电子束（探针） 投射在样品表面(约10nm) 扫描线圈:（偏转线