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第七章 固体成像器件--CCD 光电成像器件的分类 固体摄像器件的显著优点 体积小，重量轻，功耗低，耐冲击，可靠，寿命长； 扫描线性，畸变小，重复性好，适用于尺寸测量、定位和图像传感等方面； 光谱响应范围较广，从近紫外到近红外； 空间分辨率高，像元间距的几何位置精确，可以获得很高的定位与测量精度； 与微机接口容易实现。 电荷耦合器件CCD CCD结构 基本单元（一个像素）是MOS结构。 CCD工作原理 四种平衡状态 CCD的非稳态工作 深耗尽：施加电压VGVth瞬间，空穴被排斥（10-12s），而电子尚未产生（源于热激发的产生-复合过程，弛豫时间T: 0.1~10s） t T，势阱被热激发电子填满而形成反型层，势阱消失 要求存贮有用信号电荷的时间小于热激发电子的存贮时间。 通过内部时钟脉冲控制电荷包的存储时间 CCD的电荷耦合过程 CCD电荷的注入 CCD摄象器件的光敏单元为光注入方式。 当光照射到CCD上时，在栅极附近的半导体体内产生电子－空穴对，其多数载流子被栅极电压排开，少数载流子则被收集在势阱中形成信号电荷。 电注入：CCD通过输入结构对信号电压或电流进行采样，然后将信号电压或电流转换为信号电荷。 CCD电荷的输出 CCD的工作原理 CCD的主要特性参数（1） 电荷转移损失率 电荷转移效率 CCD的主要特性参数（2） 驱动频率 下限： 上限 CCD的主要特性