Al与MgF2多层滤光膜光谱及其环境稳定性.pdfVIP

第 卷 第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２０ ２ Ｖｏｌ．２０Ｎｏ．２ 　 　 　 年 月 ， ２００８ ２ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｆｅｂ．２００８ 　 　 文章编号： （ ） １００１４３２２２００８０２０２１９０５ 　 和 多层滤光膜光谱及其环境稳定性 犃犾 犕 犉 犵２ 郑秀萍， 吴永刚， 付联效， 王振华， 曹 鸿， 张 莉， 焦宏飞， 彭东功 　 　 　 　 　 　 　 　 　 （同济大学 精密光学工程技术研究所，上海 ２０００９２） 摘 要： 采用真空热蒸发和电子束蒸发方法，制备了 和 多层滤光膜，并在 ， ， ， Ａｌ Ｍ Ｆ １００１５０２００３００℃ 　　 　 　 ｇ２ 的真空环境中进行了热处理，考察了真空热处理温度对多层滤光膜光谱、形貌和环境稳定特性的影响。结果表 明，经过真空热处理后，滤光膜表面粗糙度降低，峰值透射率升高，半宽度增大。随着在实验室干燥环境中放置 时间的增加，未热处理以及 ３００℃热处理样品的透射率峰位向长波方向有较大的移动，峰值透射率降低，可见 光抑制特性减弱。而 ， 热处理样品的透射率峰位移动很小，峰值透射率及可见光抑制特性基本保持 １５０２００℃ 不变，具有很好的环境稳定性。 关键词： 多层膜； 热处理； 环境稳定性； 峰值透射率 　　 　 　 　 　 中图分类号： Ｏ４８４ 文献标识码： Ａ 　　 　 　　　　 　 窄带滤光薄膜在光谱学、激光、天文物理学等领域具有广泛的应用。作为一种最主要的膜系结构， 和 Ａｌ 　　 金属介质多层滤光膜在紫外和真空紫外波段的应用覆盖了 波段。金属 在可见光波段 Ｍ Ｆ １１０ ３５０ｎｍ Ａｌ ｇ２ ～ 具有较大的消光系数和高反射特性， 则在紫外波段有较低的消光系数，两者的结合可实现在特定波段的 Ｍ Ｆ ｇ２ ［ ］ １２ 深度截止，以及在紫外和真空紫外波段的高透射 。 年 采用双半波 干