双加热器混合物化学气相沉积mgblt;,2gt;超导薄膜.pdf

摘 要 本文首次成功地采川烈加热器混合物理化学气相沉积№lj 超导薄膜，冈为B：m的分解 温度 460℃～600℃ 、Mg源的熔融温度 648℃ 、雌及Mg蒸气0B蒸气的反应生成MgB- 的漏度4i同：采用般加热器，可以进～步减少Mg＆，MgB，等杂质相的生成，在控制杂质上． 度为760℃利780℃的两块样品具有超导电性，但是衬底温度为760℃的样品其品粒较人，结 品化程度币高，表面比较粗糙．品粒问有孔隙，超导性质不稳定。在低温电阻测试系统中，发现 了一个非常奇怪的现象：当温度降低到144．47K的时候，电阻发生较大幅度的降低，当温度 降低到121 值才开始上升，然后电阻继续上升，直到稳定在l5左右。该样品开始转变 三 衬底温度为780℃ 具有良好的超导电性，在整个低温系统测量过程中，样品的电阻比 较稳定，起始转变温度为；璺蔓蹦t零屯阻温度为邈星墅a其转变宽度为3．88K。转变宽度 相对较小，但临界温度较低。两块具有超导电性的Mg＆超导薄膜的超导转变漏皮都比较低， 这是由于系统的各种实验参数还1i够优化的结果。比如利底温度、气流量、气压等。这些条 件对沉积Mg超导薄膜的质量具有很大的影响。结果表明这种方法能够制备大面积的Mg 超导薄膜。并且我们所用的双加热器混合物理化学气相沉积一步法与当前的微电子一 。艺相兼 容，有利_]I实现Mg超导薄膜在微电子器件方面的应用