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离子束辅助磁控溅射制备类石墨碳膜的结构与性能研究-无机材料学报.pdfVIP

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  • 2016-03-08 发布于天津
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离子束辅助磁控溅射制备类石墨碳膜的结构与性能研究-无机材料学报.pdf

    离子束辅助磁控溅射制备类石墨碳膜的结构与性能研究-无机材料学报

    第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 , 文章编号 一 一 一 离子束辅助磁控溅射制备类石 墨碳膜 的结构与性能研 究 赵 蕾 , 付 永辉 , 刘登 益 , 朱 晓东 , 何 家文 西 安 交 通 大 学金 属材 料 强度 国家重 点实验 室 ,

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